双环境力复合下的硅基MEMS安全系统芯片设计

离心力驱动下的MEMS安全系统在弹药发射时,会受到离心力和后坐力的同时作用,安全系统中的隔爆滑块和后坐保险在这种双环境力作用下,两个部件不会按照理想情况运动,安全系统可能不会成功由安全状态转化为待发状态,从而影响到整体结构的可靠性和安全性。文中针对上述情况,设计了一种基于小口径弹药的MEMS安全系统,对其中的后坐保险和隔爆滑块进行了参数化设计,分析了闭锁机构在受到非驱动力发生运动而错开的判别条件和后坐保险与隔爆滑块能够成功完成闭锁动作的能量条件,并对设计好的结构进行了仿真分析,验证了设计好的结构在小口径弹药的过载条件下能够成功完成动作并且结构保持完好,最后通过马歇特锤和离心试验验证了安全系统能够在50000 g过载下保持结构完好,并且后坐保险能够在后坐加速度50000 g、离心转速700 r/s的过载条件下正常工作。