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TFT-LCD用黑色光刻胶材料对曝光过程Mark读取的影响
1
作者
李吉
张霞
+3 位作者
廖昌
谢忠憬
尹勇明
孟鸿
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期1047-1053,共7页
大尺寸薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)显示器为节省黑色矩阵(Black Matrix,BM)制程降低面板成本,使用黑色膜柱(Black Photo Spacer,BPS)技术替代BM和PS(Photo Spacer)制程,同时为兼顾对组...
大尺寸薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)显示器为节省黑色矩阵(Black Matrix,BM)制程降低面板成本,使用黑色膜柱(Black Photo Spacer,BPS)技术替代BM和PS(Photo Spacer)制程,同时为兼顾对组精度提升的需求,采用BOA(BPS on Array)技术,将BPS转移至阵列基板侧。原BM制程是第一道制作,而新的BPS制程则位于阵列最后一道制程。BPS曝光成型需使用阵列前制程的金属标(Metal Mark)进行精准对位,实现精细化图案。BPS的透过率低,致使CCD摄像机透过BPS抓取前制程的金属标进行对位非常困难。针对该技术难题,对曝光设备抓标的原理进行了分析,通过调整材料颜料组成,获取了不同透过率BPS材料。将不同透过率的BPS材料进行曝光成型,研究曝光对位过程对材料透过率的最低要求,同时遮光度尽可能大。实验结果表明,NSK曝光机对位灯源波长位于780~1000 nm红外区域,在该波段BPS材料透过率低于23%时会导致对位失败。通过使用有机-无机混合颜料组成取代有机混合颜料,在红外波段可获得接近90%的透过率,满足对位需求。同时固化成型后可获得1.2/μm光学密度,满足BPS产品遮光特性需求。以此制作的BPS面板光学指标满足产品规格。
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关键词
TFT-LCD
BPS技术
曝光工艺
抓标对位
透过率
下载PDF
职称材料
新型自取向液晶材料及在TFT-LCD中的应用
被引量:
1
2
作者
兰松
陈兴武
+5 位作者
韦宏权
曾德仁
马小龙
陈孝贤
谢忠憬
李泳锐
《中国基础科学》
2018年第5期32-34,共3页
本文介绍了一种可取代PI配向膜的光敏型两亲性垂直取向剂,将这种小分子材料混合到PSVA液晶中,经过UV制程后可形成聚合物膜,同时研究了这种聚合物膜层的特性。本文还利用这种小分子材料,制备出了不含PI配向膜(PI-free)的TFT-LCD,与传统...
本文介绍了一种可取代PI配向膜的光敏型两亲性垂直取向剂,将这种小分子材料混合到PSVA液晶中,经过UV制程后可形成聚合物膜,同时研究了这种聚合物膜层的特性。本文还利用这种小分子材料,制备出了不含PI配向膜(PI-free)的TFT-LCD,与传统液晶显示器相比,这种显示器表现出了快速响应、广视角、高电压保持率(VHR)等特性。
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关键词
相亲性有机小分子
垂直配向
原文传递
题名
TFT-LCD用黑色光刻胶材料对曝光过程Mark读取的影响
1
作者
李吉
张霞
廖昌
谢忠憬
尹勇明
孟鸿
机构
北京大学深圳研究生院
北京大学材料科学与工程学院
深圳北理莫斯科大学
TCL华星光电技术有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期1047-1053,共7页
基金
国家自然科学基金(No.62205058)
广东省基础与应用基础研究项目(No.2021A1515110085)
深圳市技术攻关项目(No.JSGG20220831103402005)。
文摘
大尺寸薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)显示器为节省黑色矩阵(Black Matrix,BM)制程降低面板成本,使用黑色膜柱(Black Photo Spacer,BPS)技术替代BM和PS(Photo Spacer)制程,同时为兼顾对组精度提升的需求,采用BOA(BPS on Array)技术,将BPS转移至阵列基板侧。原BM制程是第一道制作,而新的BPS制程则位于阵列最后一道制程。BPS曝光成型需使用阵列前制程的金属标(Metal Mark)进行精准对位,实现精细化图案。BPS的透过率低,致使CCD摄像机透过BPS抓取前制程的金属标进行对位非常困难。针对该技术难题,对曝光设备抓标的原理进行了分析,通过调整材料颜料组成,获取了不同透过率BPS材料。将不同透过率的BPS材料进行曝光成型,研究曝光对位过程对材料透过率的最低要求,同时遮光度尽可能大。实验结果表明,NSK曝光机对位灯源波长位于780~1000 nm红外区域,在该波段BPS材料透过率低于23%时会导致对位失败。通过使用有机-无机混合颜料组成取代有机混合颜料,在红外波段可获得接近90%的透过率,满足对位需求。同时固化成型后可获得1.2/μm光学密度,满足BPS产品遮光特性需求。以此制作的BPS面板光学指标满足产品规格。
关键词
TFT-LCD
BPS技术
曝光工艺
抓标对位
透过率
Keywords
TFT-LCD
BPS technology
exposure process
mark reading
transmittance
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
新型自取向液晶材料及在TFT-LCD中的应用
被引量:
1
2
作者
兰松
陈兴武
韦宏权
曾德仁
马小龙
陈孝贤
谢忠憬
李泳锐
机构
深圳市华星光电技术有限公司
出处
《中国基础科学》
2018年第5期32-34,共3页
文摘
本文介绍了一种可取代PI配向膜的光敏型两亲性垂直取向剂,将这种小分子材料混合到PSVA液晶中,经过UV制程后可形成聚合物膜,同时研究了这种聚合物膜层的特性。本文还利用这种小分子材料,制备出了不含PI配向膜(PI-free)的TFT-LCD,与传统液晶显示器相比,这种显示器表现出了快速响应、广视角、高电压保持率(VHR)等特性。
关键词
相亲性有机小分子
垂直配向
Keywords
amphiphile organic monomers
vertical-alignment layers
分类号
O649 [理学—物理化学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TFT-LCD用黑色光刻胶材料对曝光过程Mark读取的影响
李吉
张霞
廖昌
谢忠憬
尹勇明
孟鸿
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
新型自取向液晶材料及在TFT-LCD中的应用
兰松
陈兴武
韦宏权
曾德仁
马小龙
陈孝贤
谢忠憬
李泳锐
《中国基础科学》
2018
1
原文传递
已选择
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参考文献
引证文献
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