提高高校大仪共享平台设备使用效率的探索

随着我国高等教育经费投入不断增加,各高校大型仪器设备越来越多,建立大仪平台对这些设备进行统一管理有助于设备资源的共享。文章基于浙江大学微纳加工中心成立四年来的工作实践,介绍了平台通过规范设备管理制度、加强实验技术队伍建设、深化数字化管理等措施,有效提高了大型仪器设备的使用效率。

C_(4)F_(6)/SF_(6)混合气体对硅基材料的ICP刻蚀工艺研究

为避免深硅刻蚀工艺所引起的扇贝纹效应,同时减少其工艺气体所带来的温室效应,本文将新一代环保电子刻蚀气C4F6引入硅刻蚀工艺,采用刻蚀与钝化同步进行的伪Bosch工艺刻蚀硅槽孔。研究了ICP功率、RIE功率、腔体压强和C_(4)F_(6)/SF_(6)气体流量比对刻蚀速率、光刻胶/硅刻蚀选择比及刻蚀形貌的影响。结果表明,一定程度增加ICP功率和RIE功率可分别提高等离子体密度和物理轰击刻蚀作用;腔体压强对粒子平均自由径有较大影响;而C4F6流量的增加可加强刻蚀侧壁保护机制。通过综合优化工艺参数,获得了2.8μm/min硅刻蚀速率,3.1的光刻胶/硅刻蚀选择比和侧壁平坦,表面光滑,垂直度高的刻蚀形貌。

基于NAO.99b资料对南海主要岛礁潮汐特征的分析

为了详细地认识南海岛礁潮汐特征,基于大洋潮汐模式NAO.99b的全球8个分潮（M_2、S_2、N_2、K_2、K_1、O_1、P_1、Q_1）调和常数资料建立南海潮汐计算模型。利用该模型计算南海主要岛礁2010年逐分钟的潮位,得出了这些岛礁的最大潮差、平均潮差、平均高潮间隙和潮汐特征系数。结果表明：南海岛礁绝大部分为不正规日潮型,潮汐特征系数在2.98~4.34;在半个月中,有连续六七天为每日2个高低潮。平均高潮间隙整体从南海东北部往西南部逐渐增大,范围为8.32~11.63h,曾母暗沙为1.57h;平均潮差和最大潮差从南海东北部向西南部逐渐增大,平均潮差变化范围为65~92cm,最大潮差变化范围144~200cm。

6S管理方法在微纳加工共享服务平台管理中的应用

大型仪器共享平台是推进高校科学研究的重要设施保障,本文基于浙江大学校级仪器共享服务平台“微纳加工中心”的建设经验,针对微纳加工技术的特殊性及其建立共享服务平台带来的挑战,创新性地引入6S现代企业管理方法,建立了一套完善的共享服务平台管理模式,改善实验环境、清除安全隐患,显著提高了设备使用效率,可为同类共享服务平台的建设和管理提供借鉴和参考。

无人船系统在富春江水库及其回水区的水文应用

简单介绍对无人船系统的发展及无人船测量作业流程。通过其对富春江水库及回水区水文测验的成功应用,进一步论述无人船系统测量水下地形和流量的作业过程。本次水下测量,无人船累计航行30 h,总航行里程约24 km,对6条河流计120个水下地形断面及6条流量断面进行施测,并对实际应用效果进行分析。结果表明,无人船系统搭载相关仪器能够满足水下测量数据准确度的要求,与人工测量相比,更好地满足了调查区域复杂水域情况,从而大大提升工作效率及安全系数。