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640×512规模碲化汞量子点中波红外焦平面阵列(特邀)
被引量:
2
1
作者
谭伊玫
张硕
+4 位作者
罗宇宁
郝群
陈梦璐
刘雁飞
唐鑫
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第7期1-7,共7页
中波红外成像在军事侦察、遥感测绘、航天航空等领域发挥了重要作用。现有中波红外焦平面主要采用碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料,其性能优异、稳定性高。然而,其复杂的材料制备及倒装键合工艺限制了块体半导体焦平面阵列...
中波红外成像在军事侦察、遥感测绘、航天航空等领域发挥了重要作用。现有中波红外焦平面主要采用碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料,其性能优异、稳定性高。然而,其复杂的材料制备及倒装键合工艺限制了块体半导体焦平面阵列的批量化制备及低成本应用。胶体量子点作为一种新兴液态半导体材料,具有光谱调控范围“宽”、合成规模“大”、制备成本“低”、以及加工工艺“易”等优势,为新型红外焦平面阵列研发提供了全新的思路。碲化汞量子点采用“热注法”合成,并通过旋涂方法实现与硅基读出电路的直接电学耦合,阵列规模及像元间距为640×512及15μm。在80 K工作温度下对焦平面阵列进行了性能测试,碲化汞焦平面阵列响应截止波长达到4.6μm、比探测率为2×10^(10)Jones、噪声等效温差51.26 mK(F#=2)、响应非均匀性3.42%且有效像元率高达99.99%,展现了较好的成像性能,为非倒装键合体制中波红外成像焦平面的制备提供了新的方案。
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关键词
红外成像技术
量子点焦平面阵列
捕获型器件
中波红外
热成像
下载PDF
职称材料
百万像素胶体量子点中波红外焦平面阵列成像技术(特邀)
2
作者
谭伊玫
徐英莹
+3 位作者
张硕
刘雁飞
郝群
唐鑫
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024年第2期395-401,共7页
红外探测及成像具有广泛用途,在红外制导、夜视侦察、安防监控及危化品探测等方面发挥了重要作用。现有红外成像焦平面大多由碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料制成,通过倒装键合的方法实现块体材料与硅基读出电路的信号传输...
红外探测及成像具有广泛用途,在红外制导、夜视侦察、安防监控及危化品探测等方面发挥了重要作用。现有红外成像焦平面大多由碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料制成,通过倒装键合的方法实现块体材料与硅基读出电路的信号传输。倒装键合对准困难、操作复杂、对设备依赖性较强,难以满足焦平面阵列规模不断增加和像元尺寸不断减小的制备需求。为解决红外焦平面阵列规模提升的瓶颈,采用碲化汞胶体量子点,通过液相旋涂的方法,突破倒装键合限制,实现硅基读出电路直接片上集成。所制备焦平面阵列规模达1280×1024,像元间距为15μm,80 K工作温度下探测截止波长为4.8μm,响应非均匀性为9%,有效像元率为99.96%,最低噪声等效温差达30 mK,展现了良好的成像性能。
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关键词
焦平面阵列成像
胶体量子点
百万像素
捕获型探测器
原文传递
题名
640×512规模碲化汞量子点中波红外焦平面阵列(特邀)
被引量:
2
1
作者
谭伊玫
张硕
罗宇宁
郝群
陈梦璐
刘雁飞
唐鑫
机构
北京理工大学光电学院
中芯热成科技(北京)有限责任公司
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第7期1-7,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2021YFA0717600)
国家自然科学基金项目(62035004)。
文摘
中波红外成像在军事侦察、遥感测绘、航天航空等领域发挥了重要作用。现有中波红外焦平面主要采用碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料,其性能优异、稳定性高。然而,其复杂的材料制备及倒装键合工艺限制了块体半导体焦平面阵列的批量化制备及低成本应用。胶体量子点作为一种新兴液态半导体材料,具有光谱调控范围“宽”、合成规模“大”、制备成本“低”、以及加工工艺“易”等优势,为新型红外焦平面阵列研发提供了全新的思路。碲化汞量子点采用“热注法”合成,并通过旋涂方法实现与硅基读出电路的直接电学耦合,阵列规模及像元间距为640×512及15μm。在80 K工作温度下对焦平面阵列进行了性能测试,碲化汞焦平面阵列响应截止波长达到4.6μm、比探测率为2×10^(10)Jones、噪声等效温差51.26 mK(F#=2)、响应非均匀性3.42%且有效像元率高达99.99%,展现了较好的成像性能,为非倒装键合体制中波红外成像焦平面的制备提供了新的方案。
关键词
红外成像技术
量子点焦平面阵列
捕获型器件
中波红外
热成像
Keywords
infrared imaging technology
quantum-dot focal plane arrays
trapping-mode devices
mid-wave infrared
thermal imaging
分类号
O434.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
百万像素胶体量子点中波红外焦平面阵列成像技术(特邀)
2
作者
谭伊玫
徐英莹
张硕
刘雁飞
郝群
唐鑫
机构
北京理工大学光电学院
中芯热成科技(北京)有限责任公司
中国计量科学研究院
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024年第2期395-401,共7页
基金
国家重点研发计划(2021YFA0717600)
国家自然科学基金重点项目(62035004)
中央高校基本科研业务费专项。
文摘
红外探测及成像具有广泛用途,在红外制导、夜视侦察、安防监控及危化品探测等方面发挥了重要作用。现有红外成像焦平面大多由碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料制成,通过倒装键合的方法实现块体材料与硅基读出电路的信号传输。倒装键合对准困难、操作复杂、对设备依赖性较强,难以满足焦平面阵列规模不断增加和像元尺寸不断减小的制备需求。为解决红外焦平面阵列规模提升的瓶颈,采用碲化汞胶体量子点,通过液相旋涂的方法,突破倒装键合限制,实现硅基读出电路直接片上集成。所制备焦平面阵列规模达1280×1024,像元间距为15μm,80 K工作温度下探测截止波长为4.8μm,响应非均匀性为9%,有效像元率为99.96%,最低噪声等效温差达30 mK,展现了良好的成像性能。
关键词
焦平面阵列成像
胶体量子点
百万像素
捕获型探测器
Keywords
focal-plane array imaging
colloidal quantum-dot
megapixel
trapping-mode photodetector
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
640×512规模碲化汞量子点中波红外焦平面阵列(特邀)
谭伊玫
张硕
罗宇宁
郝群
陈梦璐
刘雁飞
唐鑫
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
2
下载PDF
职称材料
2
百万像素胶体量子点中波红外焦平面阵列成像技术(特邀)
谭伊玫
徐英莹
张硕
刘雁飞
郝群
唐鑫
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024
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