基于上海光源扫描透射X射线显微术的相干衍射成像模拟

扫描透射X射线显微术(STXM)是近年发展起来的基于第三代同步辐射光源的新型谱学显微技术。上海光源已在覆盖大多数重要元素吸收边的250～2000eV光子能量段实现了STXM技术。基于上海光源STXM实验站装置模拟了一种新的成像方法:在充分利用原有装置基础上发展扫描相干衍射成像技术,不但可以有效提升实验站的空间分辨能力,而且实现起来也相对简单。针对上海光源软X射线实验站特点,讨论了实现扫描相干衍射成像的相干性条件,实验站各因素对成像分辨率的影响等,并针对具体的实验条件进行了模拟分析。模拟显示,通过发展该项技术可有效提高特定样品的空间分辨能力。