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题名二硫化钼薄膜的制备和性质研究
被引量:2
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作者
王培羽
王新
谭封印
张荣华
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机构
长春理工大学理学院电子科学与技术系
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出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021年第5期710-715,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(11874091)。
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文摘
基于第一性原理,应用Materials Studio软件对2H-MoS_(2)的能带结构、态密度、光学特性等进行了模拟研究。结果表明:MoS_(2)是间接带隙半导体,禁带宽度约为1.1275e V;材料在紫外至可见光波段具有一定吸收,吸收系数随波长增加而减小,拉曼光谱在375和400cm^(-1)分别出现了E_(2g)^(1)和A_(1g)两个振动模式。在39.5°,33.5°等位置处出现了(103),(101)等晶面的衍射峰。采用磁控溅射的方法,在石英衬底上制备了不同厚度的MoS_(2)薄膜,发现该薄膜具有(101)择优取向,在375和407cm^(-1)处也分别出现了E_(2g)^(1)和A_(1g)两个拉曼峰。随着厚度的增加,薄膜在可见光波段透过率下降,光学带隙向长波长移动,模拟结果与实验结果基本吻合。
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关键词
二硫化钼薄膜
第一性原理
磁控溅射
结构
光学
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Keywords
MoS_(2)film
first-principle
magnetron sputtering
structure
optics
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分类号
TQ125.1
[化学工程—无机化工]
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题名Mg掺杂对NiO基薄膜能带调控作用
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作者
王新
谭封印
丛凡超
鞠博涵
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机构
长春理工大学物理学院
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出处
《吉林师范大学学报(自然科学版)》
2023年第3期11-17,共7页
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基金
吉林省科技发展计划项目(20220101036JC)
国家自然科学基金项目(11874091)。
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文摘
NiO是一种新型的宽禁带半导体材料,其带隙宽度为3.6~4.0 eV,在紫外探测等领域具有广泛应用.为了研究元素掺杂对NiO薄膜能带的调节作用,首先采用Material Studio软件构建了不同Mg掺杂量的Ni_(x)Mg_(1-x)O材料,然后采用Castep等相关模块对这些材料的能带、态密度、光学特性等进行了模拟和分析.另外,采用共溅射法通过固定MgO靶溅射功率、调整NiO靶溅射功率制备了不同Mg掺杂量的Ni_(x)Mg_(1-x)O薄膜,发现模拟结果和实验结果规律一致.随着Mg掺杂量的增加,Ni_(x)Mg_(1-x)O薄膜的带隙增加,说明Mg掺杂对NiO薄膜的能带调节作用明显,这为制备更短波长的NiO基薄膜材料和器件奠定了理论和技术基础.
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关键词
NiO薄膜
Mg掺杂
能带
磁控溅射
光学
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Keywords
NiO thin film
Mg-doping
energy band
magnetron sputtering
optics
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分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
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