液态源磷扩散最佳工艺条件CAD模拟分析

研究了如何应用ＳＵＰＲＥＭ软件程序，对液态源磷扩散工艺条件及扩散结果进行ＣＡＤ模拟分析。文中重点研究了扩散系数的修正值Ｂｅ，硅片表面汽相磷浓度ｎ＊的计算，并应用计算出的Ｂｅ、ｎ＊值分析模拟了磷扩散后的结果。它表明与实验结果相一致，且重复性好。