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热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定 被引量:3
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作者 谷永先 邬林 +2 位作者 曾鸿江 胡娜娜 钱江蓉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第8期18-20,共3页
设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异,设... 设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异,设计了适用于批量制造的标定方法。测试结果表明:传感器具有平滑的输出特性,经过标定后,具有较高的一致性及重复性,适合于工业等领域。 展开更多
关键词 微机电系统 数字输出 热隔离 气体质量流量 标定
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热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计 被引量:3
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作者 谷永先 曾鸿江 +2 位作者 邬林 胡娜娜 钱江蓉 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期72-74,共3页
研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对... 研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对传感器进行了标定。测试结果表明:在0~20 L/min的流量范围内,传感器响应速度快,灵敏度高,输出信号平滑,适合于工业及医疗等领域。 展开更多
关键词 微机电系统 热隔离 气体质量流量传感器 恒温差
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基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定 被引量:5
3
作者 胡梦飞 刘亚伟 +3 位作者 杨露露 谷永先 胡国俊 吕品 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期102-104,共3页
设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模... 设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量。 展开更多
关键词 微机电系统技术 流体传热式 MATLAB软件 标定
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热式MEMS流量传感器的设计及测试 被引量:1
4
作者 胡梦飞 杨露露 +3 位作者 刘亚伟 谷永先 胡国俊 吕品 《锻压装备与制造技术》 2017年第4期32-36,共5页
根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电... 根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器,设计了流量传感器的测试系统,包括恒温差电路、桥式测量电路及放大、滤波电路,所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换,最后经过单片机处理,利用单片机与计算机串口通信功能,在不同流速下打印出不同的电压值;通过Matlab对所测出的数据进行拟合,完成对传感器性能的检测。测量结果表明:在一定的流量范围内,该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点,能够广泛应用于工业、医疗领域的流量测量。 展开更多
关键词 热串扰 微机电系统 悬臂梁 恒温差 模数转换 串口通信
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平面电容传感器液位检测系统设计 被引量:7
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作者 瞿惠琴 谷永先 +1 位作者 吴孔培 叶倩 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期48-52,共5页
为了对高度小于100mm的液位进行非接触式测量,采用液位变化改变平面电容边缘电场参量的方法,对平面电容传感器的工作原理进行了理论分析,研究了平面电容传感器的结构参量对其灵敏度、穿透深度的影响,并对传感器结构参量进行了优化,基于... 为了对高度小于100mm的液位进行非接触式测量,采用液位变化改变平面电容边缘电场参量的方法,对平面电容传感器的工作原理进行了理论分析,研究了平面电容传感器的结构参量对其灵敏度、穿透深度的影响,并对传感器结构参量进行了优化,基于平面电容传感器,设计了非接触式低液位检测系统,通过对纯净水、洗洁精溶液和墨汁的实验验证,取得了0mm~100mm范围的液位测量数据。结果表明,该检测系统工作稳定,具有线性输出,重复性误差约为±0.28%,数据修正前的测量误差小于7.8%。这一结果对非接触式较低液位的检测是有帮助的。 展开更多
关键词 测量与计量 液位检测 平面电容传感器 电极结构 FDC2214
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低功耗交直流小功率测量系统的设计与实现 被引量:3
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作者 瞿惠琴 谷永先 +1 位作者 吴孔培 叶倩 《西南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期149-154,共6页
对交直流小功率测量电路的工作原理及功率测量算法进行研究,基于低功耗微处理器MSP430F5529、低功耗直流功率计量芯片INA226和交流功率计量芯片HLW8012设计了交直流小功率测量系统.系统能自动识别输入的电源类型,交流电源(1 V~5 V)或... 对交直流小功率测量电路的工作原理及功率测量算法进行研究,基于低功耗微处理器MSP430F5529、低功耗直流功率计量芯片INA226和交流功率计量芯片HLW8012设计了交直流小功率测量系统.系统能自动识别输入的电源类型,交流电源(1 V~5 V)或直流电源(200 mV~30 V)输入时,调整负载,能够测量40 mW~1 W的有功功率,测量误差小于1%.系统中交直流功率测量模块采用串联接法,有效简化了软硬件设计,降低系统功耗,系统电路功耗小于30 mW. 展开更多
关键词 功率测量 交直流功率 MSP430F5529 低功耗 电源类型识别
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无线传感器在海上航标遥测网络中的应用 被引量:2
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作者 吴孔培 瞿惠琴 谷永先 《舰船科学技术》 北大核心 2019年第24期157-159,共3页
航标系统是现代大型船舶航行的重要安全保障,如何保障航标信号的准确性,及时有效管理航标信息是海上航标遥测网络研究重点,其航标信息的测量及数据传输是关键。本文设计了基于无线传感网络WSN的海上航标遥测系统和基于帧及多跳的航标信... 航标系统是现代大型船舶航行的重要安全保障,如何保障航标信号的准确性,及时有效管理航标信息是海上航标遥测网络研究重点,其航标信息的测量及数据传输是关键。本文设计了基于无线传感网络WSN的海上航标遥测系统和基于帧及多跳的航标信息传输网络,分析了系统延迟。最后对系统进行仿真,并给出仿真结果。 展开更多
关键词 无线传感网络 航标遥测 ZIGBEE
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Impact of symmetrized and Burt—Foreman Hamiltonians on spurious solutions and energy levels of InAs/GaAs quantum dots
8
作者 谷永先 杨涛 +2 位作者 季海铭 徐鹏飞 王占国 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第8期619-627,共9页
We present a systematic investigation of calculating quantum dots (QDs) energy levels using finite element method in the frame of eight-band k · p method. Numerical results including piezoelectricity, electron ... We present a systematic investigation of calculating quantum dots (QDs) energy levels using finite element method in the frame of eight-band k · p method. Numerical results including piezoelectricity, electron and hole levels, as well as wave functions are achieved. In the calculation of energy levels, we do observe spurious solutions (SSs) no matter Burt Foreman or symmetrized Hamiltonians are used. Different theories are used to analyse the SSs, we find that the ellipticity theory can give a better explanation for the origin of SSs and symmetrized Hamiltonian is easier to lead to SSs. The energy levels simulated with the two Hamiltonians are compared to each other after eliminating SSs, different Hamiltonians cause a larger difference on electron energy levels than that on hole energy levels and this difference decreases with the increase of QD size. 展开更多
关键词 quantum dot symmetrized Hamiltonian Burt Foreman Hamiltonian finite element method spurious solutions
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A 10Gb/s Directly-Modulated 1.3μm InAs/GaAs Quantum-Dot Laser 被引量:2
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作者 季海铭 杨涛 +5 位作者 曹玉莲 徐鹏飞 谷永先 刘宇 谢亮 王占国 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第3期181-183,共3页
我们表明 10 Gb/s 直接调制分子的横梁取向附生在 GaAs 底层上种的 1.3 m InAs 量点(QD ) 激光。QD 激光的活跃区域由五栈的 InAs QD 层组成。有 4 m 和 600 m 的洞长度的山脉宽度的山脉波导激光与标准平版印刷术和湿蚀刻技术被制作。... 我们表明 10 Gb/s 直接调制分子的横梁取向附生在 GaAs 底层上种的 1.3 m InAs 量点(QD ) 激光。QD 激光的活跃区域由五栈的 InAs QD 层组成。有 4 m 和 600 m 的洞长度的山脉宽度的山脉波导激光与标准平版印刷术和湿蚀刻技术被制作。激光在房间温度与 5 妈的很低的阀值水流在 1293 点射出 nm,这被发现。而且,在 10 Gb/s 调整下面的清楚的启迪的模式在多达 50 展开更多
关键词 量子点激光器 直接调制 砷化铟 GaAs 分子束外延生长 砷化镓衬底 波导激光器 蚀刻技术
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High Characteristic Temperature 1.3μm InAs/GaAs Quantum-Dot Lasers Grown by Molecular Beam Epitaxy 被引量:1
10
作者 季海铭 杨涛 +4 位作者 曹玉莲 徐鹏飞 谷永先 马文全 王占国 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第2期285-287,共3页
我们报导 1.3 m InAs/GaAs 量点(QD ) 的分子的横梁取向附生生长有高典型的温度 T0 的激光。激光的活跃区域由五层的 InAs QD 组成, p 类型调整做。有 4 m 和 1200 m 的洞长度的条纹宽度的设备在不同温度下面在搏动的政体被制作并且测... 我们报导 1.3 m InAs/GaAs 量点(QD ) 的分子的横梁取向附生生长有高典型的温度 T0 的激光。激光的活跃区域由五层的 InAs QD 组成, p 类型调整做。有 4 m 和 1200 m 的洞长度的条纹宽度的设备在不同温度下面在搏动的政体被制作并且测试。它被发现那到象在从 10 的温度范围的 532K 一样 QD 展开更多
关键词 量子点激光器 分子束外延生长 特征温度 GaAs 连续波激光器 调制掺杂 结晶质量 砷化铟
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Numerical study of strained InGaAs quantum well lasers emitting at 2.33 μm using the eight-band model
11
作者 汪明 谷永先 +2 位作者 季海铭 杨涛 王占国 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第7期380-386,共7页
We investigate the band structure of a compressively strained In(Ga)As/In0.53Ga0.47As quantum well (QW) on an InP substrate using the eight-band k.p theory. Aiming at the emission wavelength around 2.33 μm, we di... We investigate the band structure of a compressively strained In(Ga)As/In0.53Ga0.47As quantum well (QW) on an InP substrate using the eight-band k.p theory. Aiming at the emission wavelength around 2.33 μm, we discuss the influences of temperature, strain and well width on the band structure and on the emission wavelength of the QW. The wavelength increases with the increase of temperature, strain and well width. Furthermore, we design an InAs /In0.53Ga0.47As QW with a well width of 4.1 nm emitting at 2.33 μm by optimizing the strain and the well width. 展开更多
关键词 band structure eight-band k.p theory strained quantum well peak emission wavelength
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Electronic band structure of a type-II 'W' quantum well calculated by an eight-band k·p model
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作者 迂修 谷永先 +2 位作者 王青 韦欣 陈良惠 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第3期95-100,共6页
In this paper, we present an investigation of type-II 'W' quantum wells for the InAs/Ga1-xInxSb/A1Sb family, where 'W' denotes the conduction profile of the material. We focus our attention on using the eight-band... In this paper, we present an investigation of type-II 'W' quantum wells for the InAs/Ga1-xInxSb/A1Sb family, where 'W' denotes the conduction profile of the material. We focus our attention on using the eight-band k. p model to calculate the band structures within the framework of finite element method. For the sake of clarity, the simulation in this paper is simplified and based on only one period--A1Sb/InAs/Ga1-xInxSb/InAs/A1Sb. The obtained numerical results include the energy levels and wavefunctions of carriers. We discuss the variations of the electronic properties by changing several important parameters, such as the thickness of either InAs or Cal_xInxSb layer and the alloy composition in Ga1-xInxSb separately. In the last part, in order to compare the eight-band k·p model, we recalculate the conduction bands of the 'W' structure using the one-band k·p model and then discuss the difference between the two results, showing that conduction bands are strongly coupled with valence bands in the narrow band gap structure. The in-plane energy dispersions, which illustrate the suppression of the Auger recombination process, are also obtained. 展开更多
关键词 type-II 'W' quantum well Burt-Foreman Hamiltonian finite element methods
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Intermediate-Band Solar Cells Based on InAs/GaAs Quantum Dots
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作者 杨晓光 杨涛 +8 位作者 王科范 谷永先 季海铭 徐鹏飞 倪海桥 牛智川 王晓东 陈燕凌 王占国 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第3期218-220,共3页
We report the fabrication of intermediate-band solar cells(IBSCs)based on quantum dots(QDs),which consists of a standard P-I-N structure with multilayer stacks of InAs/GaAs QDs in the I-layer.Compared with conventiona... We report the fabrication of intermediate-band solar cells(IBSCs)based on quantum dots(QDs),which consists of a standard P-I-N structure with multilayer stacks of InAs/GaAs QDs in the I-layer.Compared with conventional GaAs single-junction solar cells,the IBSCs based on InAs/GaAs QDs show a broader photo-response spectrum(>1330 nm),a higher short-circle current(about 53%increase)and a stronger radiation hardness.The results have important applications for realizing high efficiency solar cells with stronger radiation hardness. 展开更多
关键词 INAS/GAAS SOLAR QUANTUM
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Temperature Compensation for Threshold Current and Slope Efficiency of 1.3μm InAs/GaAs Quantum-Dot Lasers by Facet Coating Design
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作者 徐鹏飞 杨涛 +3 位作者 季海铭 曹玉莲 谷永先 王占国 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第4期94-96,共3页
We demonstrate a technique of temperature compensation for 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot(QD)lasers by facet coating design.The key point of the technique is to make sure that the mirror loss of the lasers decreases as ... We demonstrate a technique of temperature compensation for 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot(QD)lasers by facet coating design.The key point of the technique is to make sure that the mirror loss of the lasers decreases as the temperature rises.To realize this,we design a type of facet coating by shifting the central wavelength of the facet coating from 1310nm to 1480nm,whose reflectivity increases as the emission wavelength of the lasers red-shifts.Consequently,the laser with the new facet coating exhibits a characteristic temperature doubled in size and a more stable slope efficiency in the temperature range from 10℃to 70℃,compared with the traditional one with a temperature-independent mirror loss. 展开更多
关键词 INAS/GAAS EFFICIENCY MIRROR
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