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一种高精度原子力显微镜的设计及应用 被引量：13
1
作者 杨学恒 陈红兵 +3 位作者 费德国 谢超 靳平 杨惠 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第21期1909-1911,共3页
简述了重庆大学研制的原子力显微镜 (AFM )样机的工作原理和应用 ,重点介绍了其镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏 ,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描 ,有效提高了扫描精度 ,扩大了扫描范围 ,简单适用的微悬... 简述了重庆大学研制的原子力显微镜 (AFM )样机的工作原理和应用 ,重点介绍了其镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏 ,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描 ,有效提高了扫描精度 ,扩大了扫描范围 ,简单适用的微悬臂使操作大大简化。给出了用该机检测到的具有代表性的 展开更多
关键词 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 镜体 微悬臂
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