中国真空计量发展概述

回顾了近50多年来中国真空计量的发展历史。内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准,从中可对中国真空计量的历史渊源和现状有一个完整的了解。

相对法校准真空漏孔及不确定度的评定

相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校准装置,能方便的校准真空漏孔,且不确定度符合量值传递要求,满足了实际需要。主要介绍了相对法校准真空漏孔的原理,过程及不确定度的评定。

真空漏率校准装置的研制和应用

真空漏率校准装置可以对(10~5~10^(-4))Pa范围内的各种真空计和(10^(-7)~10^(-9))Pa·m^3/s的真空漏孔进行校准。该装置的特点是结构简单、量程宽、易操作和工作效率高。