基于皮秒激光烧蚀的氧化铟锡纳米颗粒制备系统

液相脉冲激光烧蚀法合成纳米颗粒是一种绿色环保的制备方法。基于该方法搭建了一套氧化铟锡(ITO)纳米颗粒制备系统,该系统采用皮秒激光作为光源辐照去离子水中的氧化铟锡固体靶材,最终合成出ITO纳米颗粒。随着入射脉冲能量的增加及激光辐照时间的增长,激光烧蚀效率明显增大,ITO产量增多。采用扫描电子显微镜(SEM)及X射线能谱仪(EDS)对制备的ITO纳米颗粒进行表征,所制备的纳米颗粒不含除铟(In)、锡(Sn)之外的杂质成分,纯度较高且72%的ITO纳米颗粒粒径大小在20~50 nm之间。