表面活性剂在IC芯片光刻工艺中的应用

叙述了表面活性剂的性质、分类、分子结构特点,重点介绍了表面活性剂在光刻工艺的涂胶、显影、湿刻工序中的应用。适当加入表面活性剂,在现有设备的条件下可极大地提高光刻质量,对双极电路以及C M O S 电路制作都有着重要的现实意义。