真空控制系统的发展现状

主要介绍真空应用设备中可视化界面控制的发展概况。回顾了真空控制系统的发展历程,以几个典型界面为例,介绍了国内外有关真空设备可视化界面控制发展概况,分析了其控制特点,并对真空应用系统可视化控制界面的未来发展提出了自己的看法。