高硬度结构件绿色平面抛光工艺研究

针对精密气体静压转台高硬度结构件超精密加工需求,研究并提出一种高硬度结构件绿色平面抛光工艺。采用单因素试验法,优化抛光液组分,当磨粒粒径为3μm,磨粒浓度质量分数为20%时,抛光工件的表面质量最优。采用正交试验设计,分析各工艺参数对加工表面质量的影响规律,进而获得最优因素水平组合。