适于SMT的微波混合集成电路制造工艺

通过对微波混合集成电路采用ＳＭＴ进行批生产的前提条件———薄膜电路的焊接性能进行了理论分析和实验研究，得出了铜薄膜体系（ＣｒＡｕＣｕＡｕ）工艺最适于满足ＳＭＴ要求的微波混合集成电路的制作，并给出了制作实例。