在8.5代线TFT-LCD制作中,发现模组点亮后出现沿数据线方向间隔1mm的竖纹Mura。拆屏后,阵列基板在钠灯下也可观察到类似亮线。通过一系列验证和分析,发现竖纹不良是由于1ITO掩膜版制作精度不足,导致1ITO显影后关键尺寸发生周期性变化引...在8.5代线TFT-LCD制作中,发现模组点亮后出现沿数据线方向间隔1mm的竖纹Mura。拆屏后,阵列基板在钠灯下也可观察到类似亮线。通过一系列验证和分析,发现竖纹不良是由于1ITO掩膜版制作精度不足,导致1ITO显影后关键尺寸发生周期性变化引起的。提高1ITO掩膜版制作精度后,竖纹不良得到了解决。1 引言目前,薄膜晶体管-液晶显示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display,TFT-LCD)仍然是显示领域的主流产品。但是,在生产过程中,TFT-LCD仍然出现各种各样的不良,影响产品良率及制作成本。展开更多
文摘在8.5代线TFT-LCD制作中,发现模组点亮后出现沿数据线方向间隔1mm的竖纹Mura。拆屏后,阵列基板在钠灯下也可观察到类似亮线。通过一系列验证和分析,发现竖纹不良是由于1ITO掩膜版制作精度不足,导致1ITO显影后关键尺寸发生周期性变化引起的。提高1ITO掩膜版制作精度后,竖纹不良得到了解决。1 引言目前,薄膜晶体管-液晶显示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display,TFT-LCD)仍然是显示领域的主流产品。但是,在生产过程中,TFT-LCD仍然出现各种各样的不良,影响产品良率及制作成本。
