无压烧结碳化硅超精密磨削工艺参数优化

【目的】为降低碳化硅陶瓷材料表面粗糙度值,以优化磨削工艺参数为目标设计正交磨削试验。【方法】首先结合回归模型方差分析砂轮转速、进给速度、工件转速3个因素对磨削加工质量的影响程度;然后绘制响应曲面图,通过响应曲面图确定各参数对表面粗糙度的影响。【结果】当无压烧结碳化硅陶瓷材料用脆性去除方式时,砂轮转速对其表面粗糙度影响最大,在一定范围内砂轮转速越大,表面粗糙度值越小;求解得到最佳磨削参数组合为砂轮转速42000 r/min、进给速度1 mm/min、工件转速100 r/min,在此工艺参数下获得碳化硅陶瓷的表面粗糙度值为61.3 nm,可有效提高碳化硅陶瓷材料的加工质量。【结论】本研究结果可为降低无压烧结碳化硅陶瓷材料表面粗糙度值提供参考。