关于清洗设备排风系统节能改造研究

本文基于本公司半导体生产线上清洗间内老式排风系统的改造研究。三菱可编程序逻辑控制器(PLC)根据清洗设备实际使用率,通过变频器自动控制排风电机的频率,达到节能的目的。

磁控溅射台电控系统的改造

针对当前磁控溅射台存在真空自动准备和手动自动切换不完善等缺点,以DV602磁控溅射台为例,对其电控系统进行了改造。设计了以PLC为控制系统核心、以触摸屏为人机接口的电控系统,控制系统的可靠性和稳定性得到提高,且界面友好,操作方便。