微电子化学试剂

大规模集成电路单晶硅片制作过程中需要大量的相关材料和化学品;其中需要大量的高纯和超净化学试剂,即微电子化学试剂,又称MOS试剂。本文对微电子化学试剂的市场及其开发应用的进展作了简单介绍。

发展上海化工原料行业的设想

一、现状和差距上海化工原料行业(指原化学原料工业公司所属企业)包括上海电化厂等27个企业和一个研究所。本行业经三十多年的发展,现已生产300多种化工产品,但系列品种少,质量较差,并且大部分产品都是高能耗、高物耗、高运量,加上行业内厂房拥挤,工艺、装备落后,三废处理等问题,使行业发展处于不利的地位。目前行业在生产、技术、装备上与兄弟省市相比较,优势正在缩小,与国外同行业相比,差距正在扩大。

微电子化学试剂

大规模集成电路单晶硅片制作过程中需要大量的相关材料和化学品：其中需要大量的高纯和超净化学试剂，即微电子化学试剂，又称MOS试剂，我国仅能生产大于3μMOS的微电子化学试剂，而小于3μMOS试剂需进口，由于半导体技术的迅速发展，需要大量的更高水平的小于1μ亚微米化学试剂和小于0．5μ的深亚微米化学试剂，为了适应由我国迅速发展半导体市场对微电子化学试剂的需求，本文建议先通过合资和合作引进国外的先进生产工艺和高效的分离设备，然后经过消化和吸收，开发出更高水平的微电子化学试剂。