误差补偿技术在直廓环面蜗杆高精度加工中的应用

针对如何在普通滚齿机上低成本地提高直廓环面蜗杆加工精度的问题 ,通过采用三坐标测量机对实际齿面进行坐标测量 ,由所得的测量结果与理论的蜗杆齿面进行比较分析 ,找出机床加工参数的调整误差 ,根据所得机床调整参数误差并基于误差补偿原理修正机床调整参数 ,从而明显地提高了直廓环面蜗杆的加工精度。同时 ,在保证有充足测点的条件下 ,只需沿着工件表面的一条螺旋线进行测量 ,便可较为准确地诊断出机床加工参数的调整误差 。

单晶硅晶圆晶向的精确标定方法

针对工业用单晶硅晶圆上所标记的大晶向的精度不能够满足微电子与机械系统 (MEMS)器件加工要求的缺点 ,提出了一种用于精确标定晶圆晶向的方法 .该方法通过一组精心设计的对比图案和随之进行的预刻蚀加工 ,把单晶硅晶圆的主晶向清晰地显示了出来 .为了准确地识别出晶圆的主晶向所在的方位 ,采用数字图像处理技术 ,对显微照相的图片进行了数学处理 .分析结果表明 ,采用所提出的方法 ,可以将晶圆的晶向定位精度由原来的± 1°～± 2° ,提高到± 0 1°以上 ,而这种对准精度对大多数MEMS器件的加工已足够了 。