在线等离子清洗技术的应用

等离子清洗处理能有效清除氧化铟锡(ITO)玻璃表面的有机污染物,活化表面,增加玻璃表面附着力。而在线等离子清洗(in-line plasma cleaning)是在连续生产线的一个密封腔中对ITO玻璃进行的等离子处理,可以避免玻璃基片暴露在大气环境中而造成二次污染。本文主要阐述了等离子清洗在ITO玻璃清洗上发挥的重要作用和一种在OLED行业实现在线等离子清洗的设备。