CVD法涂覆层(TiC、TiN及TiC-TiN)和高速钢合金工具钢基体的附着性

1.绪言以金属材料表面硬化为目的化学气相沉积法(Chemical Uapor Deposition:CDV)技术已被广泛应用。它是利用组成沉积物质的化合物在气相状态发生化学反应,沉积出碳化物、氮化物、氧化物。