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题名4000TPI光刻伺服盘的工艺实践
被引量:1
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作者
赫连娜
张江陵
王智刚
罗敢
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机构
华中理工大学计算机系
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出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
1993年第1期37-40,共4页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
利用光刻技术成功地制作了4000TPI(Tracks Per Inch)伺服盘.通过扫描电镜、振动样品测试仪及干涉仪检测结果证明,所研制了光刻伺服盘达到了设计要求.
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关键词
光刻技术
伺服盘
磁盘
光刻伺服盘
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Keywords
Manufacture
Servo disk
Photolithographic process
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分类号
TP333.35
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名影响磁盘光刻图形质量的因素分析
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作者
罗敢
胡学骏
赫连娜
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机构
华中理工大学
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出处
《磁记录材料》
1995年第4期16-19,共4页
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文摘
本文叙述了影响光刻伺服图形质量的各种因素,主要可分为磁盘光刻过程中半导体工艺产生的质量误差和机械定位不准产生的伺服图形偏心误差。
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关键词
磁盘
光刻图形
质量分析
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分类号
TQ587.2
[化学工程—精细化工]
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题名混合伺服原理与方法
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作者
王智刚
赫连娜
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机构
华东计算技术研究所
华中理工大学
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出处
《计算机工程》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期66-71,共6页
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文摘
混合伺服技术最早见于IBM3310。本文全面介绍分析了它的基本原理与实现方法,从中可见这种技术的先进性,对实践具有一定的指导意义。尤其扇段伺服的设计有新颖独到之处,采用了一种“对消伺服花样”,使得比较过程在磁头本身中完成。为了有效地处理微弱信号,改进了伺服解调电路。
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关键词
混合伺服
计算机
磁盘存贮器
容量
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分类号
TP333.35
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名磁录技术发展小史
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作者
王智刚
赫连娜
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机构
华中理工大学计算机系
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出处
《科学技术与辩证法》
CSSCI
1991年第3期39-39,共1页
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文摘
世界上第一台录音机是由丹麦人V.Poulsen于1898年研制并在巴黎的一个展览会上展出的以钢丝为记录介质的钢丝录音机。由于碳钢丝的矫顽力太低,又无放大设备,所以只能借助于耳机勉强地来收听。1909年,采用了直流偏磁记录方式,使其灵敏度提高。直至1920年电子管放大器的出现,才使录音机进入实用化阶段。早期的磁头定位系统采用机械式或液压式的开环结构,由于没有采样磁头的位置信息,
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关键词
科技史
磁录技术
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分类号
N09
[自然科学总论—科学技术哲学]
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题名光刻伺服盘检测
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作者
罗敢
朱永红
张江陵
赫连娜
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机构
华中理工大学
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出处
《武汉工业大学学报》
CSCD
1996年第1期77-79,共3页
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基金
国家自然科学基金重点项目资助
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文摘
光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.
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关键词
光刻伺服盘
伺服定位
质量检测
磁盘
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Keywords
etched servo disk
servo posistion
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分类号
TQ587.2
[化学工程—精细化工]
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题名光刻伺服盘媒体微细加工技术
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作者
罗敢
郑朝晖
张江陵
赫连娜
胡学骏
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机构
华中理工大学
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出处
《武汉工业大学学报》
CSCD
1996年第3期76-78,共3页
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基金
国家自然科学基金重点项目
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文摘
阐述了光刻伺服盘媒体微细加工实验过程,分析了刻蚀工艺中影响磁盘光刻图形的不利因素,实践证明利用半导体微细加工技术光刻伺服盘,能大幅度提高磁道密度,增加磁盘驱动器的容量。
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关键词
光刻伺服盘
刻蚀
微细加工
磁盘存储器
媒体
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Keywords
etched servo
disk etching technique
track density
microfabrication
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分类号
TQ587.2
[化学工程—精细化工]
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