SAW化学战剂传感器的研究进展

简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展。详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势。

EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法

电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件。一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形;然后用剥离工艺制作出IDT电极。通过邻近效应校正和提高场拼接精度,制作的叉指电极具有一致性,电极形貌好。相对于干法刻蚀工艺,剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤。该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径。

基于无线传感器网络技术的水质监测系统

随着人们对赖以生存的水环境的重视,水质实时在线监测系统需求迫切。基于对无线传感器网络技术的研究,以无线传感器网络为通讯手段,结合水质评价模型,设计了一个水质在线监测系统。实现对特定水域的实时监测,对提高水质保护和水资源合理利用具有一定的意义。

声表面波气体传感器设计与制作

阐述了声表面波（SAW）甲基膦酸二甲酯（DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性,主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性,敏感材料巯基十一酸（MUA）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1~100mg/m3的浓度范围内具有好的线性度和21Hz/mg/cm3的灵敏度。

霍夫分岔理论的研究

利用霍夫分岔理论分析范德玻耳方程所描述的振荡系统的自激振荡过程。结果显示 ,在控制参数ε>0时 ,自激振荡会趋向一个稳定振幅的等幅振荡 ,而当控制参数ε<0时 ,振荡过程得到不稳定振幅 。

厚膜微压传感器的线性化

文章讨论影响厚膜微压传感器线性度的因素及解决办法,给出传感器线性化信号处理电路。

X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器

提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器。制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中。研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法。

常见气体声表面波传感器研究进展

声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展。