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感应读出延时线阳极光子计数探测器研究
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作者 张蕊利 刘永安 +5 位作者 张亚龙 杨向辉 刘哲 苏桐 赵宝升 盛立志 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1291-1296,共6页
针对空间天文、生物荧光、光谱测量等领域对高灵敏、大面阵探测器的应用需求,研制出基于感应读出方式的延迟线阳极光子计数成像探测器。该探测器由微通道板、延时线阳极以及读出电路组成,其中延时线阳极的性能直接影响探测器的成像质量... 针对空间天文、生物荧光、光谱测量等领域对高灵敏、大面阵探测器的应用需求,研制出基于感应读出方式的延迟线阳极光子计数成像探测器。该探测器由微通道板、延时线阳极以及读出电路组成,其中延时线阳极的性能直接影响探测器的成像质量。作为一种电荷感应读出延时线阳极,该阳极利用信号到达的时间差解码入射光子的位置,可获得高的探测灵敏度和大的成像面积,同时简化了工艺难度并提升了可靠性。设计了感应读出延时线阳极,理论分析了探测器不同设计参数及材料对感应电荷量的影响,提出了解决异层电极间感应电荷量难以平衡的方法。据此研制出了收集面积为40 mm×40 mm的位敏阳极。测试结果表明该阳极信号传输衰减小于10%,极间串扰小于3%。利用该阳极进行了光子计数成像实验,获得了优于150μm的空间分辨率,为研制可应用于天文紫外光谱测量的大面阵、高灵敏探测器提供了理论依据及实验指导。 展开更多
关键词 探测器 光子计数成像 位敏阳极 空间分辨 光谱测量
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一种多狭缝条纹变相管 被引量:10
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作者 田进寿 赵宝升 +8 位作者 温文龙 王俊锋 吴建军 韦永林 陈正楷 刘虎林 李思宁 许蓓蕾 孟小衍 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1979-1982,共4页
设计了一种动态范围大、小型化条纹变相管,其时间分辨能力在2.6 ps左右,变相管的长度为196 .532mm,可以工作在单狭缝和多狭缝模式下,使得这种条纹变相管不但可以应用在激光核聚变、等粒子物理、激光技术、光生物、光化学等传统的超快诊... 设计了一种动态范围大、小型化条纹变相管,其时间分辨能力在2.6 ps左右,变相管的长度为196 .532mm,可以工作在单狭缝和多狭缝模式下,使得这种条纹变相管不但可以应用在激光核聚变、等粒子物理、激光技术、光生物、光化学等传统的超快诊断领域内,而且可以应用于海底探测以及空中预警等领域,可获得高速运动目标的三维空间+一维强度信息的探测. 展开更多
关键词 多狭缝条纹变相管 MONTE CARLO模拟 有限差分法 调制传递函数
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X射线脉冲星导航探测器性能研究 被引量:9
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作者 盛立志 赵宝升 +6 位作者 周峰 王朋 宋娟 刘永安 申景诗 胡慧君 马晓飞 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1071-1076,共6页
为研究用于X射线脉冲星导航的探测系统性能,推导了在光子计数模式下探测系统的信噪比和最小可探测功率的关系表达式,并搭建测量信噪比和最小可探测功率的实验装置.测量了系统的最小可探测功率以及在不同光功率、不同累积时间和不同阈值... 为研究用于X射线脉冲星导航的探测系统性能,推导了在光子计数模式下探测系统的信噪比和最小可探测功率的关系表达式,并搭建测量信噪比和最小可探测功率的实验装置.测量了系统的最小可探测功率以及在不同光功率、不同累积时间和不同阈值电压条件下探测系统的信噪比.通过对X射线光子到达时间的测量,构造了X射线脉冲累积轮廓.实验表明:随着光功率和累积时间的增加,累积脉冲轮廓的信噪比提高,累积脉冲轮廓趋于光滑;当阈值电压为-150mV时,信噪比为26.3,累积脉冲轮廓最优;系统的最小可探测功率为3.5×10-16W. 展开更多
关键词 单光子探测 微通道板探测器 最小可探测功率 信噪比 X射线脉冲星导航
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多狭缝条纹变相管的设计 被引量:16
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作者 陈敏 赵宝升 +1 位作者 盛立志 田进寿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1309-1312,共4页
设计了一种有效面积大、体积小、重量轻的多狭缝条纹变相管.通过自行编程并进行MonteCarlo模拟计算,在离轴10mm处,静态空间分辨率可达20lp/mm,静态物理时间分辨率达100ps.在电子光学设计的基础上,完成了多狭缝条纹变相管的结构设计和机... 设计了一种有效面积大、体积小、重量轻的多狭缝条纹变相管.通过自行编程并进行MonteCarlo模拟计算,在离轴10mm处,静态空间分辨率可达20lp/mm,静态物理时间分辨率达100ps.在电子光学设计的基础上,完成了多狭缝条纹变相管的结构设计和机械加工,通过工艺设计,制作样管,阴极有效面积达22mm.最后进行静态测试,获得了具有一定分辨能力的静态图像.该像管可以用作变相管激光雷达的探测器,实现非扫描激光三维成像. 展开更多
关键词 条纹管 时间分辨率 空间分辨率 激光三维成像雷达
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高量子效率碲化铯紫外日盲阴极研制 被引量:11
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作者 韦永林 赵宝升 +2 位作者 赛小锋 刘永安 曹希斌 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期555-558,共4页
碲化铯(Cs2Te)阴极是紫外探测器的重要组成部分,其研究的时间较早,在某些紫外探测领域得到了良好应用。但是,同时具有高量子效率及良好日盲特性的阴极制备工艺还需要进一步探索。本文采用电子束蒸发镀膜在石英窗上制备金属Ni膜作为Cs2T... 碲化铯(Cs2Te)阴极是紫外探测器的重要组成部分,其研究的时间较早,在某些紫外探测领域得到了良好应用。但是,同时具有高量子效率及良好日盲特性的阴极制备工艺还需要进一步探索。本文采用电子束蒸发镀膜在石英窗上制备金属Ni膜作为Cs2Te阴极的导电基底,用四探针测试仪、高阻计和分光光度计研究了薄膜的方块电阻和透过率关系。在超高真空系统中进行Cs2Te阴极制备,研究Te膜厚度对阴极量子效率的影响关系。用X光能量色散谱分析Cs2Te光电阴极的组分,研究Cs量与阴极日盲特性的影响关系。结果表明,最佳Ni膜厚度为1.0 nm,其电阻为107Ω/□左右,其紫外波段透过率高达80%;Cs2Te阴极的Te膜厚度为2.0nm时,光电阴极量子效率达12%;当Cs2Te阴极中Cs过量,其波长响应向长波方向延伸,Cs欠量,阴极量子效率降低。 展开更多
关键词 Cs2Te 紫外阴极 真空蒸发 量子效率 日盲
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X射线脉冲星导航探测器的微通道板甄选 被引量:6
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作者 宋娟 赵宝升 +2 位作者 盛立志 刘哲 刘永安 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期402-407,共6页
根据应用于X射线脉冲星导航系统的大面阵X射线探测器对微通道板(MCP)性能的要求,研究了甄选微通道板的方法。确定了甄选微通道板的4个关键参量,分别是增益的均匀性、阻抗匹配、暗计数率、增益系数。针对这4个参量设计了相应的测试实验... 根据应用于X射线脉冲星导航系统的大面阵X射线探测器对微通道板(MCP)性能的要求,研究了甄选微通道板的方法。确定了甄选微通道板的4个关键参量,分别是增益的均匀性、阻抗匹配、暗计数率、增益系数。针对这4个参量设计了相应的测试实验,制定了甄选MCP的流程,并对采用该流程甄选出的MCP进行了幅值和计数率的测试。测试结果显示:采用单通道阳极接收信号时,每一个探测单元的幅值存在的相对误差各不相同,第i个探测单元输出的信号幅值的最大相对误差Δ1i和最小相对误差Δ2i的波动分别为7%-13.5%,3%-6.7%;而采用四通道共享阳极时输出信号的Δ1i为7.8%、Δ2i为3.1%;单通道阳极计数率之和(n=n1+n2+n3+n4)与四通道共享阳极计数率N的相对误差为4.38%,小于预估值10%。上述实验结果表明该甄选方法能够甄选出满足探测器要求的MCP。 展开更多
关键词 单光子探测 X射线探测器 脉冲星导航系统 微通道板(MCP) MCP甄选 脉冲幅值 计数率
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楔条形阳极探测器的性能测试与分析 被引量:6
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作者 刘永安 赵宝升 +3 位作者 朱香平 缪震华 张兴华 邹玮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期750-755,共6页
对研制出的楔条形阳极探测器进行了性能分析与实验测试,分析了引起成像畸变的三个重要因素:到达阳极的电子云半径大小、阳极的电容耦合效应和电子读出电路的性能.电子云半径的过大或过小会相应引起成像的"S"畸变或调制畸变,... 对研制出的楔条形阳极探测器进行了性能分析与实验测试,分析了引起成像畸变的三个重要因素:到达阳极的电子云半径大小、阳极的电容耦合效应和电子读出电路的性能.电子云半径的过大或过小会相应引起成像的"S"畸变或调制畸变,电容耦合效应和电路噪音也均会引起成像的畸变.此外,测试了探测器的暗计数率、线性度以及空间分辨率等性能,同时分析了微通道板在光照情况下的增益特性和暗计数的一般特性及其产生原因.测试结果表明探测器的成像畸变很小、线性关系较好,空间分辨率优于150μm,微通道板的暗计数率低于0.4count/s*cm2. 展开更多
关键词 阳极探测器 楔条形阳极 微通道板 暗计数 分辨率
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双近贴式X射线像增强器成像不均匀性的分析与校正 被引量:8
8
作者 李伟 赵宝升 +1 位作者 赵菲菲 曹希斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1353-1357,共5页
分析了双近贴式X射线像增强器响应不一致性的产生机理,对每个像元建立了光电响应的数学模型.基于该模型,提出了一种改进的多点校正算法.该算法将对数曲线模型转化为线性响应模型,通过基于最小二乘法的两点拟合算法对图像数据进行校正.... 分析了双近贴式X射线像增强器响应不一致性的产生机理,对每个像元建立了光电响应的数学模型.基于该模型,提出了一种改进的多点校正算法.该算法将对数曲线模型转化为线性响应模型,通过基于最小二乘法的两点拟合算法对图像数据进行校正.对比分析了校正前后图像的背景标准差及灰度分布曲线,实验结果验证了该方法的有效性. 展开更多
关键词 射线成像 X射线像增强器 图像不均匀性 不一致性校正
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影响X射线像增强器分辨率的因素分析 被引量:16
9
作者 潘俊杰 赵宝升 +1 位作者 赛小锋 王俊锋 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1116-1118,共3页
对采用双近贴聚焦成像结构的MCP(Micro Channel Plate)-X射线像增强器的工作原理与结构进行了分析,对影响其空间分辨率的主要因素进行了研究.影响X射线成像系统分辨率的因素主要有X射线源焦斑的大小和X射线像增强器自身的分辨率,而影响... 对采用双近贴聚焦成像结构的MCP(Micro Channel Plate)-X射线像增强器的工作原理与结构进行了分析,对影响其空间分辨率的主要因素进行了研究.影响X射线成像系统分辨率的因素主要有X射线源焦斑的大小和X射线像增强器自身的分辨率,而影响X射线像增强器分辨率的因素主要有MCP输出面到荧光屏之间的距离、MCP输出面与荧光屏之间的电压差以及MCP自身的分辨率.通过对两种具有不同参量的X射线像增强器分辨率的理论计算及分辨率测试实验,将理论计算结果与测试实验结果对比,验证了分辨率计算公式及影响分辨率因素分析的正确性. 展开更多
关键词 X射线像增强器 空间分辨率 MCP
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基于MCP大面阵X射线探测器共享阳极的研究 被引量:6
10
作者 宋娟 赵宝升 +4 位作者 盛立志 刘哲 代锦飞 刘永安 周雁楠 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期37-42,共6页
针对用于大面阵微通道板探测器的电子学采集系统研制难度大的问题,提出了多个探测单元共享一个微带线接收阳极的解决方案.依据微带线原理,设计了阻抗匹配的双通道共享阳极和四通道共享阳极.按照判定多通道共享阳极可用的基本标准,对这... 针对用于大面阵微通道板探测器的电子学采集系统研制难度大的问题,提出了多个探测单元共享一个微带线接收阳极的解决方案.依据微带线原理,设计了阻抗匹配的双通道共享阳极和四通道共享阳极.按照判定多通道共享阳极可用的基本标准,对这两种共享阳极进行了信号传输特性和收集效率的实验验证.模拟实验显示,多通道共享阳极的信号传输呈现出无衰减、无畸变的状态,实验测试结果与模拟计算结果相吻合;双通道共享阳极计数率之和与四通道共享阳极计数率均近似等于单通道阳极计数率之和,相对误差分别为5.2%、7.4%.四通道共享阳极可以取代单通道阳极和双通道共享阳极,将多通道电子学采集系统的通道数目减少至原来的1/4,降低整个电子学采集系统的体积、重量和功耗. 展开更多
关键词 单光子探测 微通道板探测器 多通道共享阳极 X射线脉冲星导航 计数率
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用于软X射线光谱探测的双MCP近贴单幅相机 被引量:6
11
作者 桂建保 赵宝升 +4 位作者 张小秋 邹远鑫 刘宏波 程元丽 赵永蓬 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1261-1264,共4页
研制了一种双MCP近贴单幅相机 ,相机用于软X射线光谱探测 采用开放式无窗结构 ,利用第一块通道板进行选通 ,有效探测面积Φ 2 6mm 相机时间分辨率 5ns ,静态空间分辨率2 5lp/mm ,动态空间分辨率 7lp/mm ,控制电路固有延时小于 2 0ns ... 研制了一种双MCP近贴单幅相机 ,相机用于软X射线光谱探测 采用开放式无窗结构 ,利用第一块通道板进行选通 ,有效探测面积Φ 2 6mm 相机时间分辨率 5ns ,静态空间分辨率2 5lp/mm ,动态空间分辨率 7lp/mm ,控制电路固有延时小于 2 0ns .主要介绍了该相机的结构、工作原理、快门脉冲发生器电路。 展开更多
关键词 X射线 单幅相机 MCP 近贴聚焦 快门选通
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飞秒电子衍射系统的设计(英文) 被引量:6
12
作者 吴建军 田进寿 +6 位作者 王俊锋 邹玮 赛小锋 赵宝升 刘运全 梁文锡 张杰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1827-1831,共5页
研发的超快电子衍射系统由超快电子枪、样品室、超快读出系统、电源系统,以及真空系统等组成,该超快电子衍射系统具有较高的时间分辩能力和较强的探测能力.光电阴极是蒸镀于MgFB2窗上的35 nm的银膜,该阴极对266 nm的紫外光比较敏感,有... 研发的超快电子衍射系统由超快电子枪、样品室、超快读出系统、电源系统,以及真空系统等组成,该超快电子衍射系统具有较高的时间分辩能力和较强的探测能力.光电阴极是蒸镀于MgFB2窗上的35 nm的银膜,该阴极对266 nm的紫外光比较敏感,有较高的量子效率,又具有很好的化学稳定性.用短磁聚焦系统来实现对光电子的聚焦,有两对偏转板,其中的一对在测量时间脉宽时用作扫描板.用双MCP探测器来增强电子图像的强度,其增益在104以上,具有单电子探测能力.系统的总时间脉宽设计为358 fs . 展开更多
关键词 超快电子衍射 微通道板 磁聚焦 时间分辩
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空间X射线通信链路建模与功率分析 被引量:6
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作者 苏桐 李瑶 +4 位作者 盛立志 强鹏飞 陈琛 徐能 赵宝升 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期206-213,共8页
从空间X射线通信传输理论出发,首先对X射线通信的功率传输过程进行研究,以加性高斯白噪声信道模型与自由空间损耗为基础,分析了深空X射线通信的信道特征及功率传输过程、推导了功率传输方程,建立了通信链路模型;其次,分析了深空X射线通... 从空间X射线通信传输理论出发,首先对X射线通信的功率传输过程进行研究,以加性高斯白噪声信道模型与自由空间损耗为基础,分析了深空X射线通信的信道特征及功率传输过程、推导了功率传输方程,建立了通信链路模型;其次,分析了深空X射线通信系统的误差来源,建立了基于单光子探测器的噪声模型,并给出了主要噪声来源的数学表达式,从而确定了通信核心参数通信距离、通信速率、误码率与信号功率之间的关系;最后,对不同阳极高压与不同调制方式下探测器端信号光子数进行实验监测,对功率传输方程及误差模型进行验证.实验结果表明,所给出的功率传输方程与误差模型可以对空间X射线通信过程进行较好地解释.根据此模型,计算了在满足一定的误码率和传输距离要求时对X射线源出射功率的要求,为空间X射线通信研究建立了理论基础,为核心元器件的研究指明了下一步的方向,同时有望对空间X射线通信的工程化提供一定的参考. 展开更多
关键词 X射线通信 链路模型 功率方程 单光子探测 误码率
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一种基于图像处理技术的视距估算方法 被引量:8
14
作者 李升才 周广恩 赵宝升 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期477-480,共4页
围绕视距估算,基于微光下的视觉探测方程和图像阈值对比度,利用图像处理技术和最小二乘数据拟合方法,提出了一种比较客观的夜视系统野外视距估算方法·为了验证该方法的有效性,针对六种夜视系统,分别进行了野外比较试验·试验... 围绕视距估算,基于微光下的视觉探测方程和图像阈值对比度,利用图像处理技术和最小二乘数据拟合方法,提出了一种比较客观的夜视系统野外视距估算方法·为了验证该方法的有效性,针对六种夜视系统,分别进行了野外比较试验·试验结果表明:该方法有效地提高了微光夜视仪的视距检测速度,具有较高的估算准确度和很好的实用性·因此,该方法对于夜视系统性能分析具有科学的指导意义· 展开更多
关键词 视距估算 夜视系统 图像处理 图像阈值对比度 CCD摄像机 调制传递函数
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一种X射线聚焦光学及其在X射线通信中的应用 被引量:5
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作者 刘舵 强鹏飞 +4 位作者 李林森 苏桐 盛立志 刘永安 赵宝升 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期63-68,共6页
基于栅控脉冲发射X射线源与单光子探测技术的X射线通信已经实现了实验室语音通信验证,并对通信系统的误码率性能进行了分析,为探索未来X射线深空应用打下了坚实的基础.针对目前X射线通信面临的信号发散角大、通信距离短、难以实现工程... 基于栅控脉冲发射X射线源与单光子探测技术的X射线通信已经实现了实验室语音通信验证,并对通信系统的误码率性能进行了分析,为探索未来X射线深空应用打下了坚实的基础.针对目前X射线通信面临的信号发散角大、通信距离短、难以实现工程化应用的情况,迫切需要对X射线通信天线系统进行深入研究.为了提高信号增益、增大X射线通信的距离,提出了多层嵌套式X射线聚焦光学作为X射线通信的"收发天线",理论分析了X射线聚焦光学用于X射线通信"收发天线"的可行性,分析了X射线聚焦光学的理论基础与结构设计,对"发射天线"发散角、"接收天线"有效面积与焦斑尺寸、信号增益等性能做了探讨.结果表明:在信号发射端,"天线"的发散角为3 mrad左右,发射增益23 d B;在信号接收端,"接收天线"的有效面积5700 mm2@1.5 keV,焦斑直径为4.5 mm,接收增益为25 d B,通信系统总的增益可达48 d B. 展开更多
关键词 X射线通信 X射线聚焦光学 通信天线 信号增益
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楔条形阳极探测器位置灵敏的理论计算 被引量:5
16
作者 缪震华 赵宝升 +1 位作者 刘永安 朱香平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2215-2218,共4页
通过对楔条形阳极探测器位置灵敏坐标计算公式的推导,证明了楔形和条纹分布面积所对应的级数是等差级数.分析了楔形底宽和条纹宽度等差系数这两个设计参量对探测灵敏度的影响.研究了电极电容的电容性耦合效应对位置灵敏的影响,通过对楔... 通过对楔条形阳极探测器位置灵敏坐标计算公式的推导,证明了楔形和条纹分布面积所对应的级数是等差级数.分析了楔形底宽和条纹宽度等差系数这两个设计参量对探测灵敏度的影响.研究了电极电容的电容性耦合效应对位置灵敏的影响,通过对楔条形阳极探测器坐标计算公式的修正,可在不影响分辨率的前提下有效地消除电容性耦合效应所产生的扭曲变形. 展开更多
关键词 阳极探测器 楔务形阳极收集器 位置灵敏 探测灵敏度 电容性耦合效应
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X射线脉冲星导航动态模拟实验系统研制与性能测试 被引量:5
17
作者 徐能 盛立志 +4 位作者 张大鹏 陈琛 赵宝升 郑伟 刘纯亮 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期328-334,共7页
本文设计了一种半实物实验系统,能模拟出航天器在地球轨道及深空飞行时接收脉冲星周期X射线信号的情形.该系统主要由动态信号数据库、X射线模拟源、真空系统和探测系统组成.模拟源可以模拟出任意波形的脉冲轮廓,探测系统的时间分辨率优... 本文设计了一种半实物实验系统,能模拟出航天器在地球轨道及深空飞行时接收脉冲星周期X射线信号的情形.该系统主要由动态信号数据库、X射线模拟源、真空系统和探测系统组成.模拟源可以模拟出任意波形的脉冲轮廓,探测系统的时间分辨率优于2μs,通过分析时间转化模型给出了动态信号生成方法.实验模拟了航天器在近地轨道飞行一周接收Crab脉冲信号,将采集的光子到达时间转换到太阳系质心时后累积脉冲轮廓与标准轮廓相关度为0.9882. 展开更多
关键词 X射线脉冲星导航 动态实验 X射线模拟源 硅漂移探测器
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等时间间隔内光子数奇偶随机性的光量子随机源 被引量:4
18
作者 鄢秋荣 赵宝升 +2 位作者 张华 廖庆洪 陈荣伶 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期172-176,共5页
提出一种基于等时间间隔内光子数奇偶随机性光量子随机源.将连续波激光二极管发射的光衰减成离散的单光子序列,利用雪崩光电二极管单光子探测模块来探测光子,通过测量等时间内探测到光子数的奇偶性来提取随机位.研制出了基于现场可编程... 提出一种基于等时间间隔内光子数奇偶随机性光量子随机源.将连续波激光二极管发射的光衰减成离散的单光子序列,利用雪崩光电二极管单光子探测模块来探测光子,通过测量等时间内探测到光子数的奇偶性来提取随机位.研制出了基于现场可编程门阵列的随机位提取电路,测试和分析了时间间隔大小和单光子计数模块的性能参量对所设计随机源提取随机数性能的影响.根据系统平均计数率自动设置时间间隔大小,实现了偏差小、速度快的随机位产生器.所设计随机源工作在计数率为20 Mcps,时间间隔设置为0.5μs时,可获得2 Mbit/s的随机位产生速率.运用随机性检测包ENT和STS对所获得的随机位序列进行测试,表明序列的随机性满足真随机数标准,不需要后续处理. 展开更多
关键词 光量子随机源 单光子探测 随机数检测 信息熵
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热铟封技术中多层金属薄膜的研究 被引量:4
19
作者 赵菲菲 赵宝升 +3 位作者 李伟 赛小锋 韦永林 邹玮 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期351-354,共4页
在像增强器制备过程中,转移阴极—铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率。相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应用前景。但是,热铟封技术在保证器... 在像增强器制备过程中,转移阴极—铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率。相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应用前景。但是,热铟封技术在保证器件气密性方面仍需进一步改善。本文采用真空蒸镀方式,在玻璃上制备了多层金属薄膜,以提高In-Sn合金与玻璃的润湿性能。采用座滴法比较了合金在玻璃及五种膜层结构表面的润湿及铺展性能。利用JSM-6700F型场发射电子扫描显微镜分析了润湿界面特性。结果表明:In-Sn合金与玻璃的润湿性能差,且在封接界面处容易产生孔洞;In-Sn合金在膜层结构玻璃/Cr/Cu和玻璃/Cr/Ni/Cu/Ag上表现出良好的铺展性和润湿性,在封接界面处,合金与薄膜表层结合致密,无缝隙或孔洞出现;器件铟封实验表明,采用膜层结构玻璃/Cr/Ni/Cu/Ag,热铟封制管成品率高,气密性良好。 展开更多
关键词 薄膜 气密性 真空沉积 热铟封 像增强器
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楔条形阳极收集器的参量设计与工艺优化 被引量:4
20
作者 缪震华 赵宝升 +2 位作者 刘永安 朱香平 张兴华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期11-16,共6页
分析了楔条形阳极收集器各参量对探测器主要性能的影响,研究了圆形收集器的设计方法,制定并优化了相应的制作工艺.以此为基础,设计和制作了两块有效探测面积Φ48mm、周期1.2mm、绝缘沟道宽度30μm、电极厚度分别为1μm和2μm的圆形收集... 分析了楔条形阳极收集器各参量对探测器主要性能的影响,研究了圆形收集器的设计方法,制定并优化了相应的制作工艺.以此为基础,设计和制作了两块有效探测面积Φ48mm、周期1.2mm、绝缘沟道宽度30μm、电极厚度分别为1μm和2μm的圆形收集器.通过对比和分析这两块收集器的电阻和电极电容值以及相应的成像实验,验证了上述研究方法的正确性和'先光刻腐蚀后电镀增厚'工艺方案的可行性. 展开更多
关键词 阳极探测器 楔条形阳极收集器 参量设计 工艺优化
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