六氟磷酸锂产业化关键技术

分别从直接氟化法和氟化氢法合成五氟化磷、直接氟化法合成高纯度粉末状氟化锂和氟化氢溶剂法合成六氟磷酸锂等方面详细论述了工业化生产六氟磷酸锂的基本原理和生产工艺流程,并介绍了每个步骤产品的纯化工艺。

沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响

利用五氯化铼热分解反应,采用冷壁式现场氯化化学气相法在钼基体沉积铼涂层,分析不同沉积温度对铼涂层的物相组成、沉积规律、表面形貌、密度和硬度的影响。实验结果表明:沉积所得均为纯铼涂层,晶粒生长方向均以(002)晶面为主;随着沉积温度的上升,铼涂层的沉积速率和沉积效率大幅提升,表面形貌由复杂多面体态变为六棱锥状;涂层组织致密,相对密度最高可达99.9%,维氏硬度随沉积温度升高而升高,最高达6100 MPa。