期刊文献+
共找到5篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于SEM-SPM原位纳米压痕超薄铜薄膜弹性模量研究 被引量:1
1
作者 赵波慧 刘燕萍 +3 位作者 马晋遥 王晋 吕俊霞 张跃飞 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第5期442-450,共9页
本文利用自主研发的扫描电子显微镜-扫描探针显微镜联合测试系统(SEM-SPM),研究了直流磁控溅射(DCMS)和原子层沉积(ALD)两种成膜方式对40、60和80 nm超薄铜薄膜弹性模量的影响。基于赫兹理论和King模型的计算结果表明,利用DCMS得到不同... 本文利用自主研发的扫描电子显微镜-扫描探针显微镜联合测试系统(SEM-SPM),研究了直流磁控溅射(DCMS)和原子层沉积(ALD)两种成膜方式对40、60和80 nm超薄铜薄膜弹性模量的影响。基于赫兹理论和King模型的计算结果表明,利用DCMS得到不同厚度铜薄膜的弹性模量值在(95±2)Gpa^(125±4)GPa之间,而通过ALD得到的铜薄膜弹性模量值在(99±2)Gpa^(154±6)GPa之间。对比分析可知,不同厚度的铜薄膜弹性模量比块体铜材料的弹性模量(90 GPa)大6%~71%,且通过两种不同方式沉积得到的铜薄膜弹性模量值都随着薄膜厚度的增加而减小,表现出明显的尺寸效应。而且对于同一厚度的铜薄膜,利用ALD沉积的弹性模量比DCMS的大4.2%~23.2%,由透射电子显微图像对比分析可知,前者的平均晶粒尺寸是后者的60%,纳米晶粒小尺寸效应可能是薄膜弹性模量增大的原因。 展开更多
关键词 原位纳米压痕 超薄薄膜 弹性模量 赫兹理论 铜薄膜
下载PDF
纳米压痕方法测量超薄钛薄膜弹性模量的研究 被引量:1
2
作者 赵波慧 刘燕萍 +1 位作者 张跃飞 吕俊霞 《热加工工艺》 北大核心 2019年第16期92-95,101,共5页
利用直流磁控溅射(DCMS)在(100)方向的硅片上沉积厚度为60、90、120、180nm的钛薄膜。采用布鲁克原子力显微镜(AFM)以及扫描电镜/扫描探针显微镜(SEM/SPM)联合测试系统分别对其进行纳米压痕试验,并通过赫兹理论和King模型求得其弹性模... 利用直流磁控溅射(DCMS)在(100)方向的硅片上沉积厚度为60、90、120、180nm的钛薄膜。采用布鲁克原子力显微镜(AFM)以及扫描电镜/扫描探针显微镜(SEM/SPM)联合测试系统分别对其进行纳米压痕试验,并通过赫兹理论和King模型求得其弹性模量值。由布鲁克原子力显微镜(AFM)得到的结果表明,厚度为60~180nm的钛薄膜弹性模量在(95±2)GPa^(132±6)GPa;对于同一厚度的钛薄膜,在不同的峰值力下,其弹性模量均随着压入深度的增加而减小;而且对于不同厚度的钛薄膜,在相同的峰值力下,其弹性模量随薄膜厚度的增加而减小。另外,采用SEM/SPM联合测试系统得到钛薄膜的弹性模量同样随着薄膜厚度的增大而减小。 展开更多
关键词 纳米压痕 超薄钛薄膜 弹性模量 力学性能
下载PDF
应用型高校开展劳动教育的价值、难题与策略
3
作者 赵波慧 王灵晓 《前卫》 2022年第20期196-198,共3页
应用型高校要深刻认识劳动教育蕴含的价值,高度重视开展劳动教育,综合考虑区域经济发展和地方行业各项需求,在培养应用型人才的实践过程中,加强劳动教育的融入.本文简述了新时代应用型高校开展劳动教育的价值,浅析了新时代应用型高校开... 应用型高校要深刻认识劳动教育蕴含的价值,高度重视开展劳动教育,综合考虑区域经济发展和地方行业各项需求,在培养应用型人才的实践过程中,加强劳动教育的融入.本文简述了新时代应用型高校开展劳动教育的价值,浅析了新时代应用型高校开展劳动教育存在的难题,探究了应用型高校开展劳动教育的策略,以期为应用型高校开展劳动教育提供参考借鉴. 展开更多
关键词 应用型高校 劳动教育 策略
下载PDF
Experimental investigation on atomization and collecting efficiency of wind-spray dust controller and its parameters optimization 被引量:1
4
作者 寇保福 刘邱祖 +4 位作者 曹世宸 胡晓禾 李延峰 王毅然 赵波慧 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期4213-4218,共6页
In order to enhance the atomization efficiency of atomizer, a new type of wind-spray dust controller combining the rotary-atomization and colliding broken of droplets was designed by the method of opening the water ci... In order to enhance the atomization efficiency of atomizer, a new type of wind-spray dust controller combining the rotary-atomization and colliding broken of droplets was designed by the method of opening the water circulation within the blades. The experiment test for dust controller was conducted by adjusting the following parameters: rotating speed, diversion hole-exit diameter, and colliding tooth angle. Results show that the atomization efficiency increases firstly then decreases with them. And the optimal parameters are obtained with rotating speed 1500-2200 r/min, diversion hole-exit diameter 2-2.5 mm and colliding tooth angle 30°-40°, and under these conditions the corresponding atomization efficiency tops to 95%. Then, the atomization situation under the optimal parameters is held from the aspect of simulation internal flow field and the results of droplet size(30-80 μm) are got, which indicates that the conclusion on the optimized parameters of dust controller is reasonable. The collecting efficiencies of different dust concentrations are determined, ranging from 85% to 98.4%, which shows that the designed dust controller can obtain a good atomizing effect and achieve well dustfall efficiency for the wetting dust control of coal mine. 展开更多
关键词 wind-spray DUST COLLECTOR ATOMIZATION efficiency c
下载PDF
基于两级数据融合技术的煤矿粉尘监测研究 被引量:5
5
作者 王毅然 刘邱祖 +1 位作者 刘燕萍 赵波慧 《煤矿安全》 CAS 北大核心 2016年第11期187-189,共3页
为解决煤矿粉尘监测中传感器测量指标种类单一、测量数据量大等问题,提出了以粉尘浓度和粉尘粒度为监测对象,运用数据融合技术处理传感器信息的新方法。在建立数据融合两级结构模型的基础上,先应用基于矩阵分析的融合算法对同质源数据... 为解决煤矿粉尘监测中传感器测量指标种类单一、测量数据量大等问题,提出了以粉尘浓度和粉尘粒度为监测对象,运用数据融合技术处理传感器信息的新方法。在建立数据融合两级结构模型的基础上,先应用基于矩阵分析的融合算法对同质源数据进行数据级融合,再应用D-S证据理论对异质源数据进行决策级融合,最终实现传感器信息的整合优化。试验和应用结果表明,该方法在完善粉尘表征评价指标的同时,显著提高了传感器信息的准确度和可信度。 展开更多
关键词 数据融合 煤矿粉尘 实时监测 矩阵分析 D-S证据理论
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部