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基于CMOS平台的硅光子关键器件与工艺研究
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作者 赵瑛璇 武爱民 甘甫烷 《中兴通讯技术》 2018年第4期8-14,共7页
面向互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的硅基光互连体系,研制了包括光波导、光栅耦合器、刻蚀衍射光栅、偏振旋转分束器、光频梳以及3D互连新器件等的硅光子关键器件,并对相应器件的设计及工艺给出了最新的研究结果。基于以上关键硅... 面向互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的硅基光互连体系,研制了包括光波导、光栅耦合器、刻蚀衍射光栅、偏振旋转分束器、光频梳以及3D互连新器件等的硅光子关键器件,并对相应器件的设计及工艺给出了最新的研究结果。基于以上关键硅光子器件进行了大规模光子集成,实现了片上集成的微波任意波形发生器,并集成了300多个光器件,包括高速调制、延迟线和热调等功能。面向数据通信研制了八通道偏振不敏感波分复用(WDM)接收器,解决了集成系统中的偏振敏感问题。 展开更多
关键词 硅光子技术 硅基光互连 大规模光子集成
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硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计 被引量:1
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作者 陈鑫 武爱民 +5 位作者 仇超 黄海阳 赵瑛璇 盛振 李伟 甘甫烷 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期361-366,共6页
刻蚀衍射光栅(EDG)作为实现波分复用功能的关键器件,对于片上光互连的实现至关重要。为了实现1310nm波段通道间隔为20nm的硅基EDG,采用了基尔霍夫标量衍射理论仿真方法进行理论设计和仿真验证,通过在闪耀光栅反射面引入布喇格反射光栅... 刻蚀衍射光栅(EDG)作为实现波分复用功能的关键器件,对于片上光互连的实现至关重要。为了实现1310nm波段通道间隔为20nm的硅基EDG,采用了基尔霍夫标量衍射理论仿真方法进行理论设计和仿真验证,通过在闪耀光栅反射面引入布喇格反射光栅来提高反射效率、降低器件插入损耗,并在入射波导处引入多模干涉耦合器以实现通道频谱平坦化设计。结果表明,闪耀光栅反射面的反射效率由35%提高到了85%,1d B带宽达到12nm。这对于提高系统稳定性、增大传输距离和容量、降低系统成本具有显著作用,能够满足光互连系统的实际应用需求。 展开更多
关键词 集成光学 刻蚀衍射光栅 硅基光互连 波分复用技术
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CMOS兼容的中红外多通道光子晶体传感器
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作者 周易 王磊 +5 位作者 李军 杨雪雷 甘峰源 赵瑛璇 仇超 李伟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期279-283,共5页
提出了一种基于光子晶体的二维多通道光学化学传感器。该器件由中心波长为3.3μm的四个腔组成,各通道工作波长间隔为10 nm。该传感器采用800 nm厚的绝缘体上硅材料,可利用标准CMOS技术加工。通过三维时差有限差分法对微腔结构的光学特... 提出了一种基于光子晶体的二维多通道光学化学传感器。该器件由中心波长为3.3μm的四个腔组成,各通道工作波长间隔为10 nm。该传感器采用800 nm厚的绝缘体上硅材料,可利用标准CMOS技术加工。通过三维时差有限差分法对微腔结构的光学特性进行模拟。每个通道的传输效率为39%,通道之间的传输效率不一致性小于0.25dB。该传感器的功能为检测四氯化碳和苯溶液浓度,其灵敏度为209.2 nm/RIU。 展开更多
关键词 光子晶体 传感器 多通道 中红外
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Efficient silicon integrated four-mode edge coupler for few-mode fiber coupling
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作者 朱俊波 黄海阳 +3 位作者 赵瑛璇 李杨 盛振 甘甫烷 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第1期54-59,共6页
Here,we designed a broadband,low loss,compact,and fabrication-tolerant silicon-based four-mode edge coupler,composed of a 1×3 adiabatic mode-evolution counter-taper splitter and a triple-tip inverse taper.Based o... Here,we designed a broadband,low loss,compact,and fabrication-tolerant silicon-based four-mode edge coupler,composed of a 1×3 adiabatic mode-evolution counter-taper splitter and a triple-tip inverse taper.Based on mode conversion and power splitting,the proposed structure can simultaneously realize efficient mode coupling from TE_(0),TM_(0),TE_(1),and TM_(1) modes of multimode silicon waveguides to linearly polarized(LP),LP^(01,x),LP_(01,y),LP_(11a,x),and LP_(11a,y),modes in the few-mode fiber.To the best of our knowledge,we proposed the first scheme of four LP modes coupling,which is fully compatible with standard fabrication process.The 3D finite-difference time-domain simulation results show that the on-chip conversion losses of the four modes remain lower than 0.62 dB over the 200 nm wavelength range,and total coupling losses are 4.1 dB,5.1 dB,2.1 dB,and 2.9 dB for TE_(0)-to-LP_(01,x),TM_(0)-to-LP_(01,y),TE_(1)-to-LP_(11a,x),and TM_(1)-to-LP_(11a,y),respectively.Good fabrication tolerance and relaxed critical dimensions make the four-mode edge coupler compatible with standard fabrication process of commercial silicon photonic foundries. 展开更多
关键词 multimode coupling CMOS compatibility silicon waveguide few-mode fiber
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Design of an ultra-broadband and fabrication-tolerant silicon polarization rotator splitter with SiO2 top cladding
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作者 陈鑫 仇超 +7 位作者 盛振 武爱民 黄海阳 赵瑛璇 李伟 王曦 邹世昌 甘甫烷 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第8期49-53,共5页
An ultra-broadband and fabrication-tolerant silicon polarization rotator splitter is proposed in this Letter.Benefitting from the broadband and low-loss characteristics of the bi-level taper and counter-tapered couple... An ultra-broadband and fabrication-tolerant silicon polarization rotator splitter is proposed in this Letter.Benefitting from the broadband and low-loss characteristics of the bi-level taper and counter-tapered coupler,the designed device has a simulated insertion loss and crosstalk of less than 0.2 and -15 dB in the waveband from 1290 to 1610 nm. These characteristics make it valuable in applications with large bandwidth requirements, such as full-grid Coarse wavelength division multiplexer(CWDM) and diplexer/triplexer fiber-to-the-home systems.The fabrication tolerance of the design is also analyzed, showing that the device performance is quite stable with normal manufacturing errors in silicon photonics foundries. 展开更多
关键词 fabrication splitter tolerant broadband photonics crosstalk cladding coupler waveguide bandwidth
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