SF_6生产过程中氟化氢气体回收方法的探索

介绍了SF6 生产过程中水洗系统的工艺改造 ,对H2 和SF6 中夹带的HF气体洗涤后提浓回收 ,使其符合工业标准的氢氟酸产品。解决了系统堵塞和腐蚀问题 。

MSA在三氟化氮分析检测装置中的应用

通过改变进样管路和除水装置,得到最优的分析检测装置。运用测量系统分析(MSA)对三氟化氮分析检测装置的准确性、重复性和再现性进行评估,结果表明,三氟化氮含量测量系统中的重复性和再现性的误差比为4.59%,可区分类别数=22,测量系统可接受,从而可为后续三氟化氮分析检测装置的推广提供指导。