SEM515扫描电子显微镜的原理与应用

三年前,○一四中心从荷兰 PHILIPS公司购进了一台扫描电子显微镜(型号为SEM515),经过安装、调试和三年多的使用证明性能良好。现将其工作原理及有关应用方面的问题予以简单介绍,以便有更多的人了解和利用这台仪器。