全自动光电光栅精密螺距检查仪

本文介绍了一种新型的全自动光电光栅精密螺距测量仪器。它利用双频激光干涉仪对粗光栅测量系统进行一次性标定,并借助于微计算机的智能特性,将标定结果存入机内,以便对以后的测量结果进行修正。这样大大降低了成本和对使用环境条件的要求,同时提高了粗光栅的测量精度。它是一种工作稳定,操作方便,精度高,成本低,适用性强的高效测量仪。