浸没式光刻机浸没流场的仿真与试验

浸没式光刻是当前45 nm以下集成电路(Integrated circuit,IC)生产线上唯一实际应用的技术。它通过在最后一片投影物镜和硅片之间填充高折射率的浸没液体来提高光刻的分辨率。作为光刻系统中光路的一部分,浸没液体需要保持良好的均一性。然而,曝光过程中光刻胶泄漏污染和曝光温升的问题,会破坏流场的均一性,并最终影响到成像质量。目前主要采用浸没液体的更新带走光刻中产生的污染物和热量,液体的更新效率成为了浸没式光刻机设计中必须考虑的关键问题之一。建立浸没流场的数值模型,并研究结构参数对流场更新效率的影响。运用高速摄像机、数据采集仪等组成的可视化流场检测试验系统开展浸没流场可视化研究,并与仿真结果进行对比,得到一组优化的注液与回收口参数。

光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响

不同的浸没单元结构会影响缝隙流场的流动状态,为了研究浸没单元结构参数对缝隙流场流动的影响规律,通过计算流体动力学(CFD)仿真,对浸没流场的流动进行了数值模拟,开展了不同的浸没单元的注液口形状和流场高度所形成的缝隙流场的流动状态分析。研究结果表明:90°～150°的注液口和0.7 mm～1 mm的缝隙高度为理想的结构参数。

教师需要培养“钝感力”

有次晚自习,我刚推门进到教室,恰巧看到一名学生无所事事地前后张望,于是就让他站起来帮我收作业,没想到他竟一摔书,坐下了.这让我始料未及,加上年轻没有经验,一冲动就狠狠批评了他,也导致整整一节晚自习教室里气氛都不好.晚上回去,越想越觉得自己太鲁莽了.其实当时我并没有责怪他的意思,高三学生压力比较大,偶尔难免出现给老师"对不起"的情况也能理解.问题是:当老师遇到这种尴尬的事情时,应该有什么样的心理准备呢?该如何处理且尽可能将大问题化小,甚至化于无形之中呢?这时,我想到了一个词——"钝感力".