压电效应与主动制振技术研究

介绍了压电陶瓷促动器与传感器的基本结构与特征;概括了压电堆叠结构制备工艺、主要生产厂商及应用压电陶瓷进行主动减振的发展过程与结构特征;针对应用于精密半导体设备的典型减振结构进行了压电堆叠选型与动态力计算;对减振结构单体进行了有限元建模及刚度仿真分析。

表面织构对水润滑轴承混合润滑性能的影响

为分析表面织构对水润滑轴承混合润滑性能的影响,基于平均Reynolds方程及JFO空化边界条件建立带有表面织构的水润滑轴承混合润滑模型并数值求解,获得不同织构参数下水润滑轴承的Stribeck曲线。研究结果表明:表面织构是否能改善润滑性能与其深径比及面密度参数密切相关,织构的引入并不一定能降低水润滑轴承的摩擦因数;表面织构的面密度和深径比存在最优值,能使水润滑轴承获得最大的膜厚比与最小的摩擦因数,并在较低的转速下由混合润滑状态进入流体动压润滑状态。