基于多方向主元分析方法的间歇过程性能监视和故障诊断

将多 方向主 元分析（ Ｍ Ｐ Ｃ Ａ） 技术 应用 于 间歇 生 产过 程的 建 模、过 程 性能 监视 和故障 诊断． Ｍ Ｐ Ｃ Ａ 方法 唯一需 要的信息 是过去成 功间 歇过 程数 据集 合． 作为 一 种有 效的 数据压 缩和信息 提取方 法， Ｍ Ｐ Ｃ Ａ 方法大 大降低数 据空 间结 构的 维数 ，消 除变 量 之间 的关 联性，去 除噪声 ，提高监视 系统的 鲁棒性． 本文针对 半导体生 产过程 中快速热 退火间 歇过程进行仿 真实验研 究．仿真 结果表 明： Ｍ Ｐ Ｃ Ａ 方法能 够有效地 监视间歇 过程性 能，及时 准确诊断引起 产品质量 发生变 化的故障 ．