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应用高频激励源制备低应力氮化硅薄膜研究 被引量:3
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作者 达小丽 郭霞 +2 位作者 关宝璐 董立闽 沈光地 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期138-142,共5页
研究了在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备氮化硅薄膜时,射频功率和腔室压力对氮化硅薄膜应力的影响以及应力与沉积速率的关系。通常认为高频下制备得到的氮化硅膜呈现张应力,但是通过实验,表明即使应用高频(13.56MH z)作为激励... 研究了在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备氮化硅薄膜时,射频功率和腔室压力对氮化硅薄膜应力的影响以及应力与沉积速率的关系。通常认为高频下制备得到的氮化硅膜呈现张应力,但是通过实验,表明即使应用高频(13.56MH z)作为激励源同样可以沉积出呈现压应力的氮化硅薄膜。并使用角度可变光谱型椭偏仪观察了薄膜的厚度和低应力氮化硅膜的m app ing图,利用傅立叶变换红外光谱仪(FT IR)对不同应力状态下的氮化硅膜的化学键结构进行了分析。 展开更多
关键词 氮化硅 应力 等离子体增强化学气相沉积 腔室压力 射频功率
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钝化膜提高GaN基LED光提取效率研究 被引量:2
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作者 达小丽 沈光地 +1 位作者 徐晨 朱彦旭 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期558-561,共4页
模拟计算了光的入射角度与反射率的关系,当光的入射角度大于23°时,发生全反射,无论是否在器件表面生长增透膜,这时的光都无法从器件顶部出射表面提取出来。研究了使用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在已经制备了n电极和p电极的... 模拟计算了光的入射角度与反射率的关系,当光的入射角度大于23°时,发生全反射,无论是否在器件表面生长增透膜,这时的光都无法从器件顶部出射表面提取出来。研究了使用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在已经制备了n电极和p电极的GaN基LED上制备钝化膜,分析了SiON和SiN_x膜沉积对于器件的光输出功率的影响。通过实验证明,在器件上沉积SiON后,光输出功率增加。 展开更多
关键词 氮化镓基发光二极管 等离子体增强化学沉积 钝化膜
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等离子体处理对GaN发光二极管性能影响
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作者 达小丽 沈光地 +5 位作者 刘建平 牛南辉 朱彦旭 梁庭 邹德恕 郭霞 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期682-687,共6页
为了研究等离子体处理对ICP刻蚀损伤的恢复效果,将多个样品放置于不同温度的等离子体增强化学气相沉积样品台上,通过改变射频源功率,分别使用N_2、N_2O和NH_3等离子体对GaN发光二极管进行处理.研究结果表明,在100℃、20W的射频功率条件... 为了研究等离子体处理对ICP刻蚀损伤的恢复效果,将多个样品放置于不同温度的等离子体增强化学气相沉积样品台上,通过改变射频源功率,分别使用N_2、N_2O和NH_3等离子体对GaN发光二极管进行处理.研究结果表明,在100℃、20W的射频功率条件下,用N_2O等离子体处理GaN发光二极管可以极大地改善器件的光电特性;用N_2等离子体处理GaN发光二极管可以使器件的光电特性得到微弱改善;但是使用NH_3等离子体处理GaN发光二极管,会使其光电特性明显恶化. 展开更多
关键词 光电子 半导体材料 发光二极管
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复合布拉格反射镜高亮度AlGaInP发光二极管 被引量:8
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作者 于晓东 韩军 +5 位作者 李建军 邓军 林委之 达小丽 陈依新 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期100-103,共4页
采用光学薄膜理论中干涉矩阵模型计算了峰值波长为630nm的AlGaInP红光LED的Al0·6Ga0·4As/AlAs材料的常规DBR和复合DBR的反射谱特性,用LP-MOCVD方法生长了模拟设计的DBR结构,测量了其白光反射谱,实验与模拟结果基本符合.制备... 采用光学薄膜理论中干涉矩阵模型计算了峰值波长为630nm的AlGaInP红光LED的Al0·6Ga0·4As/AlAs材料的常规DBR和复合DBR的反射谱特性,用LP-MOCVD方法生长了模拟设计的DBR结构,测量了其白光反射谱,实验与模拟结果基本符合.制备了采用Al0·6Ga0·4As/AlAs复合DBR的LED器件,未封装输出光功率为2·3mW,外量子效率为5·6%,发光效率可达12lm/W,比常规DBR器件提高了35%.验证了复合DBR与常规DBR相比,可以大幅度提高AlGaInP红光LED的出光效率. 展开更多
关键词 红光LED 复合分布式布拉格反射镜 金属有机物化学气相淀积 光提取效率
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垂直腔面发射激光器温度特性的研究 被引量:7
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作者 渠红伟 郭霞 +4 位作者 董立闽 邓军 达小丽 徐遵图 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期83-86,共4页
借助于SV-32低温恒温器及LD2002C5 VCSEL测试系统,对内腔接触式氧化物限制型垂直腔面发射激光器进行了变温实验研究,测得在-10℃~70℃温度范围内,器件输出光功率、电压、斜率效率、发射波长和阈值电流随温度变化的实验曲线,并结合不同... 借助于SV-32低温恒温器及LD2002C5 VCSEL测试系统,对内腔接触式氧化物限制型垂直腔面发射激光器进行了变温实验研究,测得在-10℃~70℃温度范围内,器件输出光功率、电压、斜率效率、发射波长和阈值电流随温度变化的实验曲线,并结合不同温度下VCSEL反射谱和增益谱的模拟结果,对实验曲线进行了很好的分析和解释.估算了连续工作状态下研制的InGaAs/GaAs垂直腔面发射激光器内部温升值,而且还得到了现有工艺条件下满足最低室温工作阈值的谐振腔谐振波长与增益谱峰值波长. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 增益谱 谐振腔 反射谱 温度
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980nm垂直腔面发射激光器的研制
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作者 郭霞 董立闽 +4 位作者 渠红伟 达小丽 杜金玉 邓军 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期129-131,共3页
采用低压金属有机化合物气相外延生长技术,应用AlAs/AlGaAs选择性湿氮氧化工艺实现光、电限制,制备出具有一定性能的980nm内腔接触式氧化物限制型顶发射980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL).通过制备不同氧化孔径尺寸的VCSEL,分析了氧化孔... 采用低压金属有机化合物气相外延生长技术,应用AlAs/AlGaAs选择性湿氮氧化工艺实现光、电限制,制备出具有一定性能的980nm内腔接触式氧化物限制型顶发射980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL).通过制备不同氧化孔径尺寸的VCSEL,分析了氧化孔径尺寸大小对器件的阈值电流和串联电阻的影响.获得的最小阈值电流为0.8mA,最大光输出功率达8mW. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 内腔接触 湿氮氧化
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High power and high reliability GaN/InGaN flip-chip light-emitting diodes
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作者 张剑铭 邹德恕 +4 位作者 徐晨 朱颜旭 梁庭 达小丽 沈光地 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第4期1135-1139,共5页
High-power and high-reliability GaN/InGaN flip-chip light-emitting diodes (FCLEDs) have been demonstrated by employing a flip-chip design, and its fabrication process is developed. FCLED is composed of a LED die and... High-power and high-reliability GaN/InGaN flip-chip light-emitting diodes (FCLEDs) have been demonstrated by employing a flip-chip design, and its fabrication process is developed. FCLED is composed of a LED die and a submount which is integrated with circuits to protect the LED from electrostatic discharge (ESD) damage. The LED die is flip-chip soldered to the submount, and light is extracted through the transparent sapphire substrate instead of an absorbing Ni/Au contact layer as in conventional GaN/InGaN LED epitaxial designs. The optical and electrical characteristics of the FCLED are presented. According to ESD IEC61000-4-2 standard (human body model), the FCLEDs tolerated at least 10 kV ESD shock have ten times more capacity than conventional GaN/InGaN LEDs. It is shown that the light output from the FCLEDs at forward current 350mA with a forward voltage of 3.3 V is 144.68 mW, and 236.59 mW at 1.0A of forward current. With employing an optimized contact scheme the FCLEDs can easily operate up to 1.0A without significant power degradation or failure. The li.fe test of FCLEDs is performed at forward current of 200 mA at room temperature. The degradation of the light output power is no more than 9% after 1010.75 h of life test, indicating the excellent reliability. FCLEDs can be used in practice where high power and high reliability are necessary, and allow designs with a reduced number of LEDs. 展开更多
关键词 GAN light emitting diode FLIP-CHIP high power
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AlGaInP thin-film LED with omni-directionally reflector and ITO transparent conducting n-type contact
8
作者 张剑铭 邹德恕 +6 位作者 徐晨 郭伟玲 朱彦旭 梁庭 达小丽 李建军 沈光地 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第11期3498-3501,共4页
In this paper a novel A1GalnP thin-film light-emitting diode (LED) with omni-directionally reflector (ODR) and transparent conducting indium tin oxide (ITO) n-type contact structure is proposed, and fabrication ... In this paper a novel A1GalnP thin-film light-emitting diode (LED) with omni-directionally reflector (ODR) and transparent conducting indium tin oxide (ITO) n-type contact structure is proposed, and fabrication process is developed. This reflector is realized with the combination of a low-refractive-index dielectric layer and a high reflectivity metal layer. This allows the light emitted or internally reflected downwardly towards the GaAs substrate at any angle of incidence to be reflected towards the top surface of the chip. ITO n-type contact is used for anti-reflection and current spreading layers on the ODR-LED with ITO. The sheet resistance of the ITO films (95 nm) deposited on n- ohmic contact of ODR-LED is of the order 23.5Ω/△ with up to 90% transmittance (above 92% for 590-770 nm) in the visible region of the spectrum. The optical and electrical characteristics of the ODR-LED with ITO are presented and compared to conventional AS-LED and ODR-LED without ITO. It is shown that the light output from the ODR-LED with ITO at forward current 20mA exceeds that of AS-LED and ODR-LED without ITO by about a factor of 1.63 and 0.16, respectively. A favourable luminous intensity of 218.3 mcd from the ODR-LED with ITO (peak wavelength 620 nm) could be obtained under 20 mA injection, which is 2.63 times and 1.21 times higher than that of AS-LED and ODR-LED without ITO, respectively. 展开更多
关键词 ALGAINP thin-film LED Omni-directional reflector ITO
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高光提取效率的倒装GaN基LED的研究
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作者 达小丽 沈光地 +3 位作者 徐晨 邹德恕 朱彦旭 张剑铭 《中国科学(F辑:信息科学)》 CSCD 2009年第9期1021-1026,共6页
为了获得更高的光输出功率,采用倒装的结构.研究了p-GaN面生长金属高反镜前后GaN面的出光量.在p-GaN的表面上生长金属高反镜后,设计使用PECVD法在整个芯片上生长SiO_2/SiN_x多层介质膜高反镜,然后再腐蚀去除电极上的多层介质膜高反镜,... 为了获得更高的光输出功率,采用倒装的结构.研究了p-GaN面生长金属高反镜前后GaN面的出光量.在p-GaN的表面上生长金属高反镜后,设计使用PECVD法在整个芯片上生长SiO_2/SiN_x多层介质膜高反镜,然后再腐蚀去除电极上的多层介质膜高反镜,使得倒装的GaN基LED台阶侧壁及p-GaN上没有覆盖金属高反镜的位置都保留有SiO_2/SiN_x多层介质膜高反镜.研究结果表明,生长两对SiO_2/SiN_x介质膜高反镜后,器件的光输出功率平均增加了10.2%.这说明SiO_2/SiN_x多层介质膜形成的高反镜有效的提高了倒装GaN基LED的光输出功率,把从LED台阶侧壁以及p-GaN上没有覆盖金属高反镜的位置出射光子反射回LED内部,经过一次或者多次反射后,从其他的出光面出射. 展开更多
关键词 氮化镓 发光二极管 SiO2/SiNx 多层介质膜高反镜 等离子体增强 化学气相沉积
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