基于微机电系统技术的投影型微光学编码器

对投影型微光学编码器的原理进行了分析 ,结合微机电系统集成技术 ,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术将标尺光栅、指示光栅、光电二极管集成化构成投影型光栅微编码器。它具有体积小、光路调整容易的特点。实验结果表明 ,利用微细加工制作微光学编码器是完全可行的。