近场作用下纳米针尖点接触界面传热研究

扫描探针光刻技术可实现10 nm以下的材料加工,为微纳加工技术带来新的发展方向。但在该技术中针尖与样品间热量传递是影响材料温升和加工效果的关键因素。本文设计了一种金纳米针尖阵列支撑的单层石墨烯结构,在真空条件下,针尖与石墨烯间接触热阻是影响结构温升的主要因素。首先评估金纳米针尖阵列在532 nm激光作用下近场增强因子约为3.2,其次,结合实验和仿真,测定金纳米针尖阵列与石墨烯间接触热阻约为4.6×10^(-5)(m^(2)·K)/W。