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基于多功率源梯度过渡层的Si-DLC的制备及水润滑性能研究 被引量：5
1
作者 吴行阳 邓兆星 +2 位作者 黄一鸣 华子恺 张建华 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期684-688,共5页
采用溅射、反应溅射与RF-CVD技术相结合的多功率源沉积了梯度过渡层,在此基础上用RF-CVD法沉积了掺硅类金刚石膜,研究了梯度过渡层对薄膜结构、力学性能及水中摩擦学性能的影响.结果表明:梯度过渡层的引入可在一定程度上提高薄膜的sp3... 采用溅射、反应溅射与RF-CVD技术相结合的多功率源沉积了梯度过渡层,在此基础上用RF-CVD法沉积了掺硅类金刚石膜,研究了梯度过渡层对薄膜结构、力学性能及水中摩擦学性能的影响.结果表明:梯度过渡层的引入可在一定程度上提高薄膜的sp3成分含量、硬度和杨氏模量,对增强膜基结合力,提高薄膜在水中的抗剥落性能有较显著的效果. 展开更多
关键词 梯度过渡层 多功率源 非晶碳基薄膜 水润滑 摩擦磨损
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