聚氨脂抛光垫表面开槽加工工艺研究

介绍了化学机械抛光技术,重点分析了国产聚氨脂抛光垫表面结构的几何特征及其三种开槽加工工艺的效率与成本。通过检测及试验研究得出结论如下:国产聚氨酯抛光垫表面微孔都在70μm左右。国产聚氨酯抛光垫的孔隙率为62%左右;激光加工工艺是可以实现高速、高效、低成本化的聚氨酯抛光垫加工;对于宽度与深度为1mmx1mm的聚氨酯抛光垫沟槽的最佳工艺方案为选择40W激光功率的CO_2激光打标机一次加工成型;抛光垫的低成本化、国产化及其沟槽的结构将是未来CMP的研究方向之一。