用PECVD在低温衬底上制备类金刚石碳膜

本文报道用ＲＦ ＰＥＣＶＤ在低温衬底上制备了类金刚石碳（ＤＬＣ０膜。研究了氢稀释、气体压力和ＲＦ功率对薄膜性质的影响。用光透射率、红外吸收谱和小角度Ｘ射线衍射谱分析了ＤＬＣ膜的结构和光学性质。结果表明，这样制备的ＤＬＸ膜是无定形态的，包含大量的Ｃ－Ｈ键，具有良好的透明性。厚度为２３０ｎｍ的ＤＬＣ膜的４在４８０ｎｍ后地可见光区和近红外区的透过率大于８３％，所得出的透明性。

宽幅卷对卷镀膜技术制造薄膜硅太阳电池

迅力光能自主研发的高集成宽幅卷对卷薄膜硅太阳电池生产线,在0.127mm厚的不锈钢基底上生产的a-Si/a-SiGe多结太阳电池实现了初始转换效率大于10%。所生产的柔性光伏组件产品在2010年已经取得美国ETL(UL 1703)认证,以及欧洲TUV(IEC 61646/EN 61730)和CE认证。

非晶硅锗三迭层电池的工艺优化

该文报道了University of Toledo近两年在三叠层非晶硅锗太阳电池方面的研究进展.使用PECVD技术在不锈钢衬底上制备三结太阳电池,经过工艺优化后,电池效率达12.7%.文中研究了三结电池中的P、I层的生长条件对电池特性的影响,认为在非晶硅与微晶硅的过渡区存在着一种过渡态,可使电池的性能达到最佳.文中还研究了P、I界面的匹配和过渡层对电池性能的影响.