纳米力学测量系统的载荷与位移溯源校准方法研究

对纳米力学测量系统在准静态压人模式下的载荷因子、位移因子的量值溯源校准方法进行了研究。通过一组标准砝码产生标准载荷，拟合标准砝码质量和传感器输出电压得到载荷因子；利用激光干涉仪测量压针位移，拟合干涉仪位移值和传感器输出电压得到位移因子。采用标准样品对校准结果进行了试验验证，校准后的纳米力学测量系统在国际比对测量中取得了良好结果。