LC—4型700keV高能离子注入机头部装置

一、概述离子注入技术是当代半导体器件的基础工艺。目前生产中用得最多的离子注入机的能量大都在200keV左右。对某些高水平的鬼子器件而言,这种中等能量的离子注入深度达不到工艺要求,一般都需要在注入后进行长时间的热处理,通过热扩散运动使注入的杂质达到工艺要求的深度。但是随着对半导体器件性能要求的提高和图形线宽的减小,这种注入加退火的工艺缺点日益严重。高能离子注入机由于能量高,对某种器件工艺来讲,单靠注入本身即可使注入离子的深度达到要求。这就可以省去或大大缩短热处理时间,使加工周期缩短。

初中数学高效课堂建立“五步走”

传统初中数学教学过程中，老师思想观念落后，使用的教学手段统一化，课堂气氛沉闷，导致学生上数学课感觉极其乏味，提不起热情，课堂教学效果极其不理想，未来的初中数学课堂上，老师应帮助学生养成自我的思维能力，让学生成为课堂教学的主体，培养良好的教学氛围，充分体现出课堂教学的高效科学性。