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题名兰姆波型谐振器的制备与测试
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作者
邓言文
彭斌
张万里
陈鹏
王睿
姜建英
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期401-404,共4页
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基金
自然科学基金资助项目(61223002)
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文摘
采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺,在AlN薄膜表面设计和制备了兰姆波(Lamb)型谐振器。研究了Lamb谐振器频率特性与频率-温度特性,并与传统的瑞利波(Rayleigh)型谐振器进行对比。测试结果表明,Rayleigh谐振器的谐振频率为305.15 MHz,温度灵敏度为10.74kHz/℃;而Lamb谐振器有7个谐振频率,分别为294.630MHz,398.125MHz,435.625MHz,482MHz,531.625MHz,570MHz和613.625MHz,其温度灵敏度分别为10.63kHz/℃,13.46kHz/℃,16.09kHz/℃,17.51kHz/℃,18.95kHz/℃,20.76kHz/℃和21.86kHz/℃。结果表明,兰姆波型谐振器高阶模式的温度灵敏度最高,达到21.86kHz/℃。
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关键词
兰姆波型谐振器
谐振频率
温度特性
ALN薄膜
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Keywords
Lamb wave resonator
resonant frequency
temperature characteristics
AlN films
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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题名石墨烯的微波法制备及其电化学电容性能的研究
被引量:11
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作者
蒋奉君
薛卫东
韦亚
邓言文
殷盼
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机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期68-71,共4页
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文摘
以天然鳞片石墨为原料,采用改进的Hummers方法制备了氧化石墨,然后通过微波剥离还原氧化石墨制备了石墨烯,并利用红外光谱、扫描电镜和透射电镜对其进行了表征。以所制石墨烯为电极材料、1 mol/L的TEMABF4/PC为电解液制备了超级电容器,并对其电化学性能进行了研究。结果表明:经过微波剥离,氧化石墨的含氧基团已基本完全分解,所得石墨烯为表面具有大量褶皱的薄层。所制电容器具有良好的电容性能,在扫描速度为10 mV/s情况下,其单电极比容量为102 F/g,比能量则高达22.1 Wh/kg。
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关键词
石墨烯
微波还原
有机体系
比能量
超级电容器
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Keywords
graphene
microwave reduction
organic system
specific energy
supercapacitor
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分类号
TM53
[电气工程—电器]
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题名谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究
被引量:7
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作者
王睿
张万里
彭斌
邓森洋
邓言文
姜建英
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期566-569,共4页
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基金
国家自然基金资助项目(61223002)
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文摘
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。
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关键词
谐振型声表面波(SAW)传感器
无线无源
直接数字频率合成
功率探测器
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Keywords
resonant SAW sensor
wireless and passive
DDS
power detector
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
TN830.2
[电子电信—信息与通信工程]
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