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中国电科11所碲镉汞薄膜材料制备技术进展
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作者 折伟林 邢晓帅 +7 位作者 邢伟荣 刘江高 郝斐 杨海燕 王丹 侯晓敏 李振兴 王成刚 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期483-494,共12页
碲镉汞材料具有响应速度快、量子效率高、带隙连续可调等优点,广泛应用于红外探测领域,本文报道了近年来中国电科11所在碲镉汞薄膜材料制备方面的技术进展。在碲锌镉衬底材料制备方面,已突破Φ135mm碲锌镉晶体生长技术,碲锌镉衬底平均... 碲镉汞材料具有响应速度快、量子效率高、带隙连续可调等优点,广泛应用于红外探测领域,本文报道了近年来中国电科11所在碲镉汞薄膜材料制备方面的技术进展。在碲锌镉衬底材料制备方面,已突破Φ135mm碲锌镉晶体生长技术,碲锌镉衬底平均位错腐蚀坑密度(EPD)<1×10^(4)cm^(-2),具备了80mm×80mm规格碲锌镉衬底的批量生产能力。在液相外延碲镉汞薄膜制备方面,富碲水平液相外延碲镉汞薄膜平均位错腐蚀坑密度EPD<4×10^(4)cm^(-2),具备80mm×80mm规格碲镉汞薄膜的制备能力;富汞垂直液相外延实现高质量双层异质结碲镉汞薄膜材料批量化制备,该种材料的半峰宽(FWHM)控制在(20~40)arcsec范围内,碲镉汞薄膜厚度极差≤±06μm。在分子束外延碲镉汞薄膜方面,实现了6 in硅基碲镉汞材料制备,组分标准偏差≤00015,表面宏观缺陷密度≤100cm^(-2);碲锌镉基碲镉汞材料已具备50mm×50mm制备能力,组分标准偏差为0002,厚度标准偏差为0047μm。从探测器验证结果来看,基于富碲水平液相外延碲镉汞薄膜实现了1 k×1 k、2 k×2 k等规格红外焦平面探测器的工程化制备;采用双层异质结碲镉汞薄膜实现了高温工作、长波及甚长波探测器的制备;使用分子束外延制备的碲镉汞薄膜实现了27 k×27 k、54 k×54 k、8 k×8 k等规格红外焦平面探测器研制,在宇航领域有巨大的应用潜力。 展开更多
关键词 碲锌镉 碲镉汞 双层异质结 红外探测 液相外延 分子束外延
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分子束外延HgTe/CdTe超晶格工艺研究
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作者 高达 李震 +4 位作者 贺融 王丹 邢伟荣 王丛 折伟林 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1384-1387,共4页
报道了分子束外延生长HgTe/CdTe超晶格结构相关技术。采用HgTe/CdTe超晶格结构进行As掺杂是降低As掺杂元素激活温度的技术路径之一。本文采用分子束外延技术在3 in硅衬底上获得了HgTe/CdTe超晶格结构材料,并采用250℃低温退火获得了激... 报道了分子束外延生长HgTe/CdTe超晶格结构相关技术。采用HgTe/CdTe超晶格结构进行As掺杂是降低As掺杂元素激活温度的技术路径之一。本文采用分子束外延技术在3 in硅衬底上获得了HgTe/CdTe超晶格结构材料,并采用250℃低温退火获得了激活的原位As掺杂碲镉汞材料。 展开更多
关键词 分子束外延 碲镉汞 HgTe/CdTe超晶格
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原位退火对Si基CdTe材料的位错抑制研究
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作者 李震 王丹 +1 位作者 高达 邢伟荣 《红外》 CAS 2023年第2期18-23,共6页
硅与碲镉汞之间的外延碲化镉缓冲层能够减小外延过程中产生的高达107cm^(-2)的位错密度,高温热退火是抑制材料位错的有效方法之一。传统的离位退火技术会导致工艺不稳定和杂质污染等,而原位退火则可有效解决这些问题。利用原位退火技术... 硅与碲镉汞之间的外延碲化镉缓冲层能够减小外延过程中产生的高达107cm^(-2)的位错密度,高温热退火是抑制材料位错的有效方法之一。传统的离位退火技术会导致工艺不稳定和杂质污染等,而原位退火则可有效解决这些问题。利用原位退火技术对分子束外延生长的硅基碲化镉材料进行了位错抑制研究。对厚度约为9μm的碲化镉材料进行了6个周期不同温度的热循环退火,并阐释了不同退火温度对硅基碲化镉材料位错的抑制效果。采用统计位错腐蚀坑密度的方法对比了退火前后材料的位错变化。可以发现,在退火温度为520℃时,位错密度可以达到1.2×10^(6)cm^(-2),比未进行退火的CdTe材料的位错密度降低了半个数量级。 展开更多
关键词 原位退火 碲化镉 位错密度
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分子束外延In掺杂硅基碲镉汞研究
4
作者 王丹 李震 +3 位作者 高达 邢伟荣 王鑫 折伟林 《红外》 CAS 2023年第3期14-19,共6页
利用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, MBE)系统生长了In掺杂硅基碲镉汞(Mercury Cadmium Telluride, MCT)材料。通过控制In源温度获得了不同掺杂水平的高质量MCT外延片。二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)测... 利用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, MBE)系统生长了In掺杂硅基碲镉汞(Mercury Cadmium Telluride, MCT)材料。通过控制In源温度获得了不同掺杂水平的高质量MCT外延片。二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)测试结果表明,In掺杂浓度在1×1015~ 2×1016 cm-3之间。表征了不同In掺杂浓度对MCT外延层位错的影响。发现位错腐蚀坑形态以三角形为主(沿<111>方向排列),且位错密度与未掺杂样品基本相当。对不同In掺杂浓度的材料进行汞饱和低温处理后,样品的电学性能均有所改善。结果表明,In掺杂能够提高材料的均匀性,从而获得较高的电子迁移率。 展开更多
关键词 分子束外延 碲镉汞 In掺杂
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CdSeTe分子束外延技术研究
5
作者 何温 王丛 +4 位作者 高达 邢伟荣 柏伟 杨海燕 折伟林 《红外》 CAS 2023年第3期8-13,共6页
对HgCdTe红外探测器CdSexTe1-x衬底材料的分子束外延生长条件、组分调整等进行了简单介绍。生长条件包括生长结构(主要有CdSexTe1-x/CdTe/ZnTe/Si、CdSexTe1-x/ZnTe/GaAs等)、生长温度(300℃左右)、生长厚度(5μm左右)等。组分调整包括... 对HgCdTe红外探测器CdSexTe1-x衬底材料的分子束外延生长条件、组分调整等进行了简单介绍。生长条件包括生长结构(主要有CdSexTe1-x/CdTe/ZnTe/Si、CdSexTe1-x/ZnTe/GaAs等)、生长温度(300℃左右)、生长厚度(5μm左右)等。组分调整包括分析Se组分随(JSe+JTe)/JCd和JSe/(JSe+JTe)的变化。JSe/(JSe+JTe)值较小时,Se组分较难融入外延层;JSe/(JSe+JTe)值较大时,Se组分增长较迅速。同时,若JSe/(JSe+JTe)值较小,则Se组分增长趋势相对较易控制。当JSe/(JSe+JTe)值一定时,Se组分随着(JSe+JTe)/JCd的减小而增大。Se组分变化的突增点随(JSe+JTe)/JCd值的减小而增大。本文可为高性能HgCdTe红外探测器的制备提供一定的参考。 展开更多
关键词 CdSexTe1-x 分子束外延 组分调整
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分子束外延InAs/GaSb Ⅱ类超晶格的缺陷研究 被引量:2
6
作者 邢伟荣 刘铭 +2 位作者 尚林涛 周朋 周立庆 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期1106-1109,共4页
InAs/GaSbⅡ类超晶格被认为制备第三代高性能红外探测器的优选材料。本文对GaSb衬底上分子束外延生长的Ⅱ类超晶格材料缺陷进行了研究,首先对材料表面缺陷分类,然后分析了各类缺陷的起源,并研究了生长温度、GaSb生长速率、As/In束流比... InAs/GaSbⅡ类超晶格被认为制备第三代高性能红外探测器的优选材料。本文对GaSb衬底上分子束外延生长的Ⅱ类超晶格材料缺陷进行了研究,首先对材料表面缺陷分类,然后分析了各类缺陷的起源,并研究了生长温度、GaSb生长速率、As/In束流比等对超晶格表面缺陷的影响,对制备高性能大面阵探测器的Ⅱ类超晶格材料生长具有参考价值。 展开更多
关键词 Ⅱ类超晶格 分子束外延 缺陷 起源
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InAs/GaSb Ⅱ类超晶格电学性能研究 被引量:2
7
作者 邢伟荣 刘铭 +1 位作者 周朋 周立庆 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期725-727,共3页
为了提高InAs/GaSb超晶格探测器性能和工作温度,研究了超晶格吸收层载流子输运性能。利用分子束外延在半绝缘GaAs衬底上生长InAs/GaSb超晶格材料,用霍尔测试表征材料电学性能,研究了不同条件,包括退火、束流比和在超晶格不同材料层的掺... 为了提高InAs/GaSb超晶格探测器性能和工作温度,研究了超晶格吸收层载流子输运性能。利用分子束外延在半绝缘GaAs衬底上生长InAs/GaSb超晶格材料,用霍尔测试表征材料电学性能,研究了不同条件,包括退火、束流比和在超晶格不同材料层的掺杂对超晶格电学性能的影响。 展开更多
关键词 INAS/GASB Ⅱ类超晶格 电学性能 霍尔测试
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论高校网络思想政治教育话语失当及回归 被引量:6
8
作者 邢伟荣 曹亮 《教育与教学研究》 2011年第12期55-57,共3页
网络思想政治教育已经成为高校思想政治教育的一块不可或缺的阵地,抢占网络思想政治教育阵地,关键在于掌握并合理运用网络思想政治教育的话语。当前,高校网络思想政治教育存在着话语失当现象,表现为教育话语剥离了学生的生活实际、教育... 网络思想政治教育已经成为高校思想政治教育的一块不可或缺的阵地,抢占网络思想政治教育阵地,关键在于掌握并合理运用网络思想政治教育的话语。当前,高校网络思想政治教育存在着话语失当现象,表现为教育话语剥离了学生的生活实际、教育话语模式呈现滞后性、教育主体关系上表现出了强权威和弱民主的缺点等问题。深入分析其原因,使思想政治教育话语向关注学生的生活世界转变,改善教育话语模式,由传统的权威型教育主体关系转向民主型平等关系,有助于实现高校网络思想政治教育话语的回归。 展开更多
关键词 高校 网络思想政治教育 话语
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地方性特色大学的概念、内涵及创建策略刍议 被引量:4
9
作者 邢伟荣 任顺元 《教育与教学研究》 2013年第10期74-76,共3页
在高等教育大众化阶段,特色已成为地方性高校存在与发展的生命线,挖掘大学特色,创建特色大学,已成为众多地方性高校发展的一个重要战略任务。然而,众多高校在创建实践中存在着对特色大学概念及内涵认识不清的现象,导致办学中陷入迷失困... 在高等教育大众化阶段,特色已成为地方性高校存在与发展的生命线,挖掘大学特色,创建特色大学,已成为众多地方性高校发展的一个重要战略任务。然而,众多高校在创建实践中存在着对特色大学概念及内涵认识不清的现象,导致办学中陷入迷失困境。对特色大学的概念、内涵等进行辨析,进一步厘清特色大学办学思路和规律,明确特色大学发展的目标和前进的方向,具有重要意义。 展开更多
关键词 地方性特色大学 大学特色 办学策略
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量子阱红外探测器最新进展 被引量:7
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作者 邢伟荣 李杰 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期144-147,共4页
量子阱红外探测器(QWIP)自从20世纪80年代被验证后,得到了广泛积极的研究。基于Ⅲ-Ⅴ材料体系、器件工艺的成熟和自身的稳定性、响应带宽窄等特有的优势,QWIP成为对低成本、大面阵、双(多)色高精度探测有综合要求的第三代红外焦平面阵列... 量子阱红外探测器(QWIP)自从20世纪80年代被验证后,得到了广泛积极的研究。基于Ⅲ-Ⅴ材料体系、器件工艺的成熟和自身的稳定性、响应带宽窄等特有的优势,QWIP成为对低成本、大面阵、双(多)色高精度探测有综合要求的第三代红外焦平面阵列(FPA)的重要发展方向。本文主要总结了国际QWIP器件的最新发展动态,并展望了其发展趋势。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 进展 趋势
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基于文化发展视角的地方高校与区域协同创新研究 被引量:3
11
作者 邢伟荣 任顺元 《湖州师范学院学报》 2017年第12期28-31,共4页
文化传承和创新是高校的重要功能,服务区域的文化发展是时代赋予高校的历史使命。高校与区域文化的协同创新对于打破高校与区域的创新"孤岛",形成区域文化繁荣发展的共建合力,提升区域文化软实力具有重要意义。加强政府高校... 文化传承和创新是高校的重要功能,服务区域的文化发展是时代赋予高校的历史使命。高校与区域文化的协同创新对于打破高校与区域的创新"孤岛",形成区域文化繁荣发展的共建合力,提升区域文化软实力具有重要意义。加强政府高校共同主导,推进高校区域文化共融,搭建文化合作平台,打造核心文化产品,共创文化合作品牌是高校与区域文化协同创新的重要途径。 展开更多
关键词 地方高校 区域 文化 协同创新
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德育话语的失当与回归 被引量:2
12
作者 邢伟荣 任顺元 《现代教育论丛》 2007年第12期20-23,共4页
当前德育实践中的德育话语存在着失当现象,表现为德育目标的理想化与政治化、德育过程的简单化与扭曲化、德育内容的滞后性及与生活的疏离、德育方法的单一性与强制性等;深入分析其背后原因,在健全德育目标、完善德育过程、更新德育内... 当前德育实践中的德育话语存在着失当现象,表现为德育目标的理想化与政治化、德育过程的简单化与扭曲化、德育内容的滞后性及与生活的疏离、德育方法的单一性与强制性等;深入分析其背后原因,在健全德育目标、完善德育过程、更新德育内容、优化德育方法等方面积极进行改进,有助于改变德育话语失当的现状,实现德育话语的回归。 展开更多
关键词 德育 德育话语 失当 回归
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新课程改革:基于制度伦理视角的分析 被引量:2
13
作者 邢伟荣 任顺元 《教育导刊(上半月)》 北大核心 2008年第6期51-53,共3页
新课程改革是一种教育改革活动,更是一种道德实践活动。合道德性是课程改革制度的应有之义和本质诉求。课程改革中的诸多问题,重要原因就是制度伦理的偏失。忽视地区差异,行政挤压课程民主,实践呼声被遮蔽,是课程改革制度伦理偏失的主... 新课程改革是一种教育改革活动,更是一种道德实践活动。合道德性是课程改革制度的应有之义和本质诉求。课程改革中的诸多问题,重要原因就是制度伦理的偏失。忽视地区差异,行政挤压课程民主,实践呼声被遮蔽,是课程改革制度伦理偏失的主要表现。重塑其伦理价值,建构具有生命性、对话性和平等性品质的课程制度,才会实现课程改革的长效和深入。 展开更多
关键词 新课程改革 制度伦理 现状超越
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分子束外延InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料 被引量:1
14
作者 邢伟荣 刘铭 +2 位作者 郭喜 周朋 周立庆 《红外》 CAS 2017年第12期17-20,共4页
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格由于具有独特的能带结构和良好的材料性能被认为是第三代红外探测器的首选,近年来被广泛研究,并取得快速发展。分子束外延能够精确控制材料界面与周期厚度,是超晶格材料生长的主流手段。利用分子束外延技术在GaSb... InAs/GaSb Ⅱ类超晶格由于具有独特的能带结构和良好的材料性能被认为是第三代红外探测器的首选,近年来被广泛研究,并取得快速发展。分子束外延能够精确控制材料界面与周期厚度,是超晶格材料生长的主流手段。利用分子束外延技术在GaSb衬底上分别生长了中波、长波超晶格材料,并对所生长的超晶格材料的性能进行了全面表征,最后用制备的面阵器件验证了该材料的性能。 展开更多
关键词 INAS/GASB Ⅱ类超晶格 分子束外延 红外探测器
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地方高校与区域文化的耦合机理及协同创新研究 被引量:5
15
作者 邢伟荣 《教育评论》 2018年第5期75-78,共4页
地方高校与区域文化有着天然的耦合关系,二者统一于文化育人的实践,体现了文化发展的重要属性。外在发展上的"依附性"与内在文化本质上的疏离、从"内生"的特色发展到"外引"的同质扩张、地方高校文化引领... 地方高校与区域文化有着天然的耦合关系,二者统一于文化育人的实践,体现了文化发展的重要属性。外在发展上的"依附性"与内在文化本质上的疏离、从"内生"的特色发展到"外引"的同质扩张、地方高校文化引领责任与区域文化发展需求的断裂是当前地方高校与区域文化发展存在的主要弊端。推进协同创新体系共建,促进高校区域文化共融,推动区域核心文化共育,实现区域文化品牌共创,都是地方高校和区域文化协同创新的重要举措。 展开更多
关键词 地方高校 区域文化 协同创新
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从“规范”到“发展”:新时期高校学生发展型资助体系研究 被引量:5
16
作者 邢伟荣 《湖州师范学院学报》 2016年第6期20-23,共4页
"规范"体现了资助的实用性本质,"发展"体现了资助的目的性本质,高校学生资助对学生"规范"倾向明显,而"发展"功能发挥不足,表现了一定的非均衡性。从公正化的制度观、民主化的管理观、综合性的... "规范"体现了资助的实用性本质,"发展"体现了资助的目的性本质,高校学生资助对学生"规范"倾向明显,而"发展"功能发挥不足,表现了一定的非均衡性。从公正化的制度观、民主化的管理观、综合性的结构观、发展性的功能观、创新性的实施观等维度出发构建五位一体的发展型资助体系,促使资助迈向均衡发展,是当前高校学生资助工作发展的重要着眼点。 展开更多
关键词 高校贫困学生 资助体系 发展型资助 规范 公平
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伦理价值视域下的高校学生资助工作的困境及策略 被引量:2
17
作者 邢伟荣 佘丹强 《湖州师范学院学报》 2014年第12期61-65,共5页
高校学生资助是一个庞大的系统工程,关涉大量的伦理问题。当前,高校学生资助工作伦理价值式微,实效性被消解,受助者的精神诉求日渐边缘化,人格尊严被降格,人正在经受着来自于伦理关怀缺失的道德困惑和不幸。从政策制度伦理、自由伦理、... 高校学生资助是一个庞大的系统工程,关涉大量的伦理问题。当前,高校学生资助工作伦理价值式微,实效性被消解,受助者的精神诉求日渐边缘化,人格尊严被降格,人正在经受着来自于伦理关怀缺失的道德困惑和不幸。从政策制度伦理、自由伦理、交往伦理及美德伦理等维度出发,对高校学生资助工作进行体认及构建,赋予学生资助工作新的伦理精神和特征,重塑高校学生资助工作伦理品性,是新时期资助工作转型发展的必然诉求。 展开更多
关键词 高校学生资助 伦理价值 困境 超越
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德育研究:质的研究的视角 被引量:1
18
作者 邢伟荣 《现代教育论丛》 2008年第5期6-8,共3页
质的研究是一种在自然的条件下对研究对象进行深入细致考察的研究范式,其在德育研究中有很大的应用价值,有助于改变德育研究中量的研究方法独尊之现状,对德育研究的发展有着重要的理论及实践意义。
关键词 德育研究 质的研究 价值 局限
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新课程改革伦理价值的缺失与建构 被引量:1
19
作者 邢伟荣 《河西学院学报》 2008年第4期92-94,共3页
新课程改革是一种教育改革活动,也是一种伦理实践过程。伦理价值是其应有之义和基本内涵,但在实施中课程改革存在忽视地区差异、行政强势推行、实施制度缺位、强弱对比悬殊等问题,有必要对新课程的实施进行伦理价值的追问,建构一种合乎... 新课程改革是一种教育改革活动,也是一种伦理实践过程。伦理价值是其应有之义和基本内涵,但在实施中课程改革存在忽视地区差异、行政强势推行、实施制度缺位、强弱对比悬殊等问题,有必要对新课程的实施进行伦理价值的追问,建构一种合乎伦理的新课程实施体系,进一步推进新课程的实施。 展开更多
关键词 新课程 伦理价值 缺失 建构
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班杜拉社会学习理论德育价值新探 被引量:1
20
作者 邢伟荣 《文教资料》 2007年第21期128-130,共3页
班杜拉社会学习理论主要内容有观察学习理论、自我调节理论、自我效能理论及三元交互决定论,对我国学校德育中德育方法选择、学生活动参与、学生行为调节、德育时空影响及不良行为学生的转化等方面有重要的指导意义。
关键词 班杜拉 社会学习理论 学校德育
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