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一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片
1
作者
彭思敏
夏善红
+7 位作者
刘向明
高雅浩
张洲威
张巍
邢学斌
刘语斐
毋正伟
彭春荣
《电子与信息学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期1513-1520,共8页
为降低激励电压和串扰噪声,实现高灵敏3维电场检测,该文提出一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片。其敏感结构由1组可动屏蔽电极和4组固定感应电极构成,固定感应电极两两对称,在压电驱动结构作用下可动屏蔽电极垂直振动,4组感应电极...
为降低激励电压和串扰噪声,实现高灵敏3维电场检测,该文提出一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片。其敏感结构由1组可动屏蔽电极和4组固定感应电极构成,固定感应电极两两对称,在压电驱动结构作用下可动屏蔽电极垂直振动,4组感应电极在待测电场作用下产生周期性的感应电流,通过测量4组感应电极的感应电流,并经过差分求和解耦方法可分别获得x,y,z坐标轴方向的电场分量。该文通过有限元仿真设计了3维电场传感芯片结构,分析了其测量的可行性,对关键结构参数进行优化设计,并设计了敏感芯片加工工艺流程。对研制的芯片进行了实验测试,结果表明,单屏蔽电极3维电场传感芯片在0~50 kV/m电场强度范围内,x,y,z 3轴输出灵敏度分别为0.2214 mV/(kV/m),0.3580 mV/(kV/m),2.1768 mV/(kV/m),3维电场的最大测量误差小于5.3%。
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关键词
单屏蔽电极
3维
电场
垂直振动
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职称材料
基于MEMS技术的三维电场探空仪测试系统设计
2
作者
邢学斌
彭春荣
+2 位作者
毋正伟
张洲威
任仁
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第10期60-65,共6页
为实现空中大气电场的准确探测,文中开展了基于MEMS技术的三维电场探空仪测试系统设计,基于Qt Creator跨平台集成开发环境实现了电场探空仪多路电场信号采集、传感器零点校验、标定测试、性能参数计算等功能,完成了基于MEMS技术的三维...
为实现空中大气电场的准确探测,文中开展了基于MEMS技术的三维电场探空仪测试系统设计,基于Qt Creator跨平台集成开发环境实现了电场探空仪多路电场信号采集、传感器零点校验、标定测试、性能参数计算等功能,完成了基于MEMS技术的三维电场探空仪的标定测试。实验结果表明:该测试系统满足测试要求,可对三维电场探空仪进行标定与性能测试。
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关键词
MEMS电场传感器
空中电场探测
三维电场
测试系统
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职称材料
一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
3
作者
张洲威
夏善红
+6 位作者
彭春荣
郑凤杰
刘俊
刘向明
高雅浩
彭思敏
邢学斌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第7期1-7,共7页
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题...
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题。对此,根据对传感器输出信号的系统性分析,提出了一种适用于宽频域电场检测的方法。理论上,在不考虑放大电路带宽限制和信号饱和的情况下,该方法检测的电场频率没有上限,并且对不同频率电场的检测灵敏度一致。实验结果显示:用该方法检测0~7 kHz频率范围内的电场,具有良好的线性度和准确度,传感器的灵敏度保持了很好的一致性,验证了该方法的合理性。
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关键词
电场传感器
交/直流电场检测
宽频带
灵敏度
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职称材料
乡镇卫生院统计面临的问题与对策
被引量:
2
4
作者
邢学斌
《中国卫生统计》
CSCD
北大核心
1996年第5期56-56,共1页
乡镇卫生院统计面临的问题与对策丹江口市卫生局邢学斌医院统计信息是医院管理者决策的基础,是管理现代化医院所必须的基本信息。因此,做好医院统计工作至关重要。然而,乡镇卫生院统计尚面临着不少问题。为进一步改善乡镇卫生院统计...
乡镇卫生院统计面临的问题与对策丹江口市卫生局邢学斌医院统计信息是医院管理者决策的基础,是管理现代化医院所必须的基本信息。因此,做好医院统计工作至关重要。然而,乡镇卫生院统计尚面临着不少问题。为进一步改善乡镇卫生院统计工作。以加强医院的科学管理,现就存...
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关键词
乡镇卫生院
医学统计
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职称材料
电力企业EAM系统和点检系统综合应用分析
被引量:
3
5
作者
康立辉
夏敬东
邢学斌
《电力信息化》
2004年第11期79-82,共4页
计算机化的资产管理与维修管理系统(CMMS和EAM)在我国的推广已经有近8年的历史了,点检定修制最初由日本从美国引进的预防维修制度发展而形成,经过近几年的使用证明,点检定修制是管理好设备的一种有效方式。文中重点介绍如何在EAM系统中...
计算机化的资产管理与维修管理系统(CMMS和EAM)在我国的推广已经有近8年的历史了,点检定修制最初由日本从美国引进的预防维修制度发展而形成,经过近几年的使用证明,点检定修制是管理好设备的一种有效方式。文中重点介绍如何在EAM系统中实现点检制,充分发挥EAM系统与点检制的长处,对其他发电企业和资产密集型企业利用EAM系统实施点检制具有极其重要的参考价值。
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关键词
EAM系统
电力企业
点检制
点检定修制
资产密集型企业
发电企业
资产管理
有效方式
证明
历史
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职称材料
“3+2”方案忧思录
6
作者
李秋芳
邢学斌
耿萍
《枣庄师专学报》
1995年第2期8-10,共3页
今年全国有24个省、自治区、直辖市在高中会考的基础上实行了“3+2”方案,即高考科目的设置为文理科均考语、数、外,文科另加政、史;理科另加物、化。该方案在高考科目中,理科取消了政治科,这一新举措出台后在师生中引起了强烈反...
今年全国有24个省、自治区、直辖市在高中会考的基础上实行了“3+2”方案,即高考科目的设置为文理科均考语、数、外,文科另加政、史;理科另加物、化。该方案在高考科目中,理科取消了政治科,这一新举措出台后在师生中引起了强烈反响.其利弊得失.众说纷纭,莫衷一是,笔者仅从政治学科的角度对“3+2”方案略陈管见,以抛砖引玉。
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关键词
“3+2”
理科
高考科目
忧思
高中会考
政治学科
师生
出台
利弊得失
自治区
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职称材料
题名
一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片
1
作者
彭思敏
夏善红
刘向明
高雅浩
张洲威
张巍
邢学斌
刘语斐
毋正伟
彭春荣
机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术联合国家重点实验室
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
出处
《电子与信息学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期1513-1520,共8页
基金
国家自然科学基金(62031025,61971398)
国家重点研发计划(2022YFB3207300,2021YFB2011700)
中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
文摘
为降低激励电压和串扰噪声,实现高灵敏3维电场检测,该文提出一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片。其敏感结构由1组可动屏蔽电极和4组固定感应电极构成,固定感应电极两两对称,在压电驱动结构作用下可动屏蔽电极垂直振动,4组感应电极在待测电场作用下产生周期性的感应电流,通过测量4组感应电极的感应电流,并经过差分求和解耦方法可分别获得x,y,z坐标轴方向的电场分量。该文通过有限元仿真设计了3维电场传感芯片结构,分析了其测量的可行性,对关键结构参数进行优化设计,并设计了敏感芯片加工工艺流程。对研制的芯片进行了实验测试,结果表明,单屏蔽电极3维电场传感芯片在0~50 kV/m电场强度范围内,x,y,z 3轴输出灵敏度分别为0.2214 mV/(kV/m),0.3580 mV/(kV/m),2.1768 mV/(kV/m),3维电场的最大测量误差小于5.3%。
关键词
单屏蔽电极
3维
电场
垂直振动
Keywords
Single shielding electrode
Three-dimensional
Electric field
Vertical vibration
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于MEMS技术的三维电场探空仪测试系统设计
2
作者
邢学斌
彭春荣
毋正伟
张洲威
任仁
机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术联合国家重点实验室
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第10期60-65,共6页
基金
国家重点研发计划资助(2022YFB3207300)
国家自然科学基金项目资助(62031025)
中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
文摘
为实现空中大气电场的准确探测,文中开展了基于MEMS技术的三维电场探空仪测试系统设计,基于Qt Creator跨平台集成开发环境实现了电场探空仪多路电场信号采集、传感器零点校验、标定测试、性能参数计算等功能,完成了基于MEMS技术的三维电场探空仪的标定测试。实验结果表明:该测试系统满足测试要求,可对三维电场探空仪进行标定与性能测试。
关键词
MEMS电场传感器
空中电场探测
三维电场
测试系统
Keywords
MEMS electric field sensor
detection of air electric field
three-dimensional electric field
calibration system
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
3
作者
张洲威
夏善红
彭春荣
郑凤杰
刘俊
刘向明
高雅浩
彭思敏
邢学斌
机构
中国科学院空天信息创新研究院
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第7期1-7,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61971398,62031025)
国家重点研发计划资助项目(2021YFB2011700)
中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
文摘
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题。对此,根据对传感器输出信号的系统性分析,提出了一种适用于宽频域电场检测的方法。理论上,在不考虑放大电路带宽限制和信号饱和的情况下,该方法检测的电场频率没有上限,并且对不同频率电场的检测灵敏度一致。实验结果显示:用该方法检测0~7 kHz频率范围内的电场,具有良好的线性度和准确度,传感器的灵敏度保持了很好的一致性,验证了该方法的合理性。
关键词
电场传感器
交/直流电场检测
宽频带
灵敏度
Keywords
electric field sensor
AC/DC electric field detection
wide frequency range
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
乡镇卫生院统计面临的问题与对策
被引量:
2
4
作者
邢学斌
机构
丹江口市卫生局
出处
《中国卫生统计》
CSCD
北大核心
1996年第5期56-56,共1页
文摘
乡镇卫生院统计面临的问题与对策丹江口市卫生局邢学斌医院统计信息是医院管理者决策的基础,是管理现代化医院所必须的基本信息。因此,做好医院统计工作至关重要。然而,乡镇卫生院统计尚面临着不少问题。为进一步改善乡镇卫生院统计工作。以加强医院的科学管理,现就存...
关键词
乡镇卫生院
医学统计
Keywords
Health manpower requirements Hospital planning model
分类号
R195.1 [医药卫生—卫生统计学]
R197.62 [医药卫生—卫生事业管理]
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职称材料
题名
电力企业EAM系统和点检系统综合应用分析
被引量:
3
5
作者
康立辉
夏敬东
邢学斌
机构
河北省衡丰发电公司
华瑞特管理咨询公司
出处
《电力信息化》
2004年第11期79-82,共4页
文摘
计算机化的资产管理与维修管理系统(CMMS和EAM)在我国的推广已经有近8年的历史了,点检定修制最初由日本从美国引进的预防维修制度发展而形成,经过近几年的使用证明,点检定修制是管理好设备的一种有效方式。文中重点介绍如何在EAM系统中实现点检制,充分发挥EAM系统与点检制的长处,对其他发电企业和资产密集型企业利用EAM系统实施点检制具有极其重要的参考价值。
关键词
EAM系统
电力企业
点检制
点检定修制
资产密集型企业
发电企业
资产管理
有效方式
证明
历史
分类号
F273.4 [经济管理—企业管理]
F407.3 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
“3+2”方案忧思录
6
作者
李秋芳
邢学斌
耿萍
出处
《枣庄师专学报》
1995年第2期8-10,共3页
文摘
今年全国有24个省、自治区、直辖市在高中会考的基础上实行了“3+2”方案,即高考科目的设置为文理科均考语、数、外,文科另加政、史;理科另加物、化。该方案在高考科目中,理科取消了政治科,这一新举措出台后在师生中引起了强烈反响.其利弊得失.众说纷纭,莫衷一是,笔者仅从政治学科的角度对“3+2”方案略陈管见,以抛砖引玉。
关键词
“3+2”
理科
高考科目
忧思
高中会考
政治学科
师生
出台
利弊得失
自治区
分类号
G633 [文化科学—教育学]
G632.474 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片
彭思敏
夏善红
刘向明
高雅浩
张洲威
张巍
邢学斌
刘语斐
毋正伟
彭春荣
《电子与信息学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
基于MEMS技术的三维电场探空仪测试系统设计
邢学斌
彭春荣
毋正伟
张洲威
任仁
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
3
一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
张洲威
夏善红
彭春荣
郑凤杰
刘俊
刘向明
高雅浩
彭思敏
邢学斌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
4
乡镇卫生院统计面临的问题与对策
邢学斌
《中国卫生统计》
CSCD
北大核心
1996
2
下载PDF
职称材料
5
电力企业EAM系统和点检系统综合应用分析
康立辉
夏敬东
邢学斌
《电力信息化》
2004
3
下载PDF
职称材料
6
“3+2”方案忧思录
李秋芳
邢学斌
耿萍
《枣庄师专学报》
1995
0
下载PDF
职称材料
已选择
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