一种新型的Pt-LaF_3混合膜MISFET结构溶解氧传感器

基于碳糊成膜 (carbonpastefilmforming)方法 ,我们研制了一种MISFET结构的Pt LaF3 混合膜全固态溶解氧传感器 .对传感器的器件结构以及Pt LaF3 敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 .给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线 .实验结果表明 ,我们所提出的器件可以用于测量溶解氧含量 .

基于FET结构的Pt-LaF_3混合膜溶解氧传感器

研制了一种基于 FET结构的 Pt- L a F3混合膜全固态溶解氧传感器 .对 Pt- L a F3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 。

光扫描型pH图象传感器测试条件的研究与分析

以LAPS为基础 ,研究高分辨率光扫描型二维pH图象传感器及其测量系统 ,重点研究了传感器的芯片材料与测试条件对传感器输出光电压的影响 ,并给出优化参数。在此基础上对溶液二维pH值分布进行了测量 ,并给出溶液pH值二维分布的灰度图。

HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O_3的检测

本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅 ( Hybrid Suspended Gate即 HSG) FET型臭氧传感器的结构与制作 .重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对 O3敏感性的影响 。

基于In_2O_3膜HSGFET型功函数O_3传感器的研究

本文以 In2 O3 及其混合物为敏感材料 ,采用悬浮栅结构和功函数方法 ,研究出可在室温下工作的 HSGFET型功函数 O3 传感器 ,并给出传感器对 O3

室温工作双敏感膜HSGFET型O_3传感器的研究

本文研究室温下工作 ,具有双敏感膜 ,检测ppb范围内O3 浓度的复合悬浮栅FET(HybridSuspendedGateFieldEffectTransistor即HSGFET)型臭氧传感器 .文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果 ,发现具有 [KI/A/LaF3]结构的传感器对O3有很好的响应特性 ;实验结果与由开尔芬 (Kelvin)探针得到的结果进行了比较 .

微机械加工中恒温腐蚀系统的设计研究

本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的温度控制算法,使腐蚀系统的温度控制更加精确、灵活.与传统水浴恒温相比,不仅使用方便,而且提高了腐蚀的效率与质量.

用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统

本文设计了一个控制温度的模糊专家系统 ,用在半导体微机械加工制作中 ,控制腐蚀装置的温度 ,在负载较重、加热功率较大的条件下 ,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求 .与传统PID算法控制系统相比 ,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度 .