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题名差分电容式MEMS加速度计的结构设计及仿真
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作者
邬润杰
张伟
郭子龙
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机构
北京信息科技大学传感器重点实验室
西安工业大学光电工程学院
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出处
《现代电子技术》
2023年第13期147-152,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61372016)
北京市教育委员会科技计划重点项目(KZ201711232030)
传感器北京市重点实验室开放课题基金资助项目(2022CGKF002)。
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文摘
为了扩大加速度计的测量范围、提高其灵敏度并且控制成本,提出一种差分电容式MEMS加速度计,并介绍了其敏感机理,即输入加速度时硅质量块产生相应位移,与钯银电极形成差分电容。通过建立输入加速度、电容差及输出电压三者之间的关系,即可检测z轴加速度。使用有限元分析,设置加速度为±100g范围内,对该加速度计支撑梁厚度变化时其应力、位移变化情况进行计算和分析。结果表明,差分电容式MEMS加速度计具有加速度计效应,加速度在±100g范围内线性度良好。加速度计在梁厚为0.058 mm时,输入加速度和位移的最佳比例系数为10-7m/g,其机械灵敏度、位移灵敏度和电容灵敏度较梁厚为0.075 mm时分别提高了10%、38%和37.9%。该研究为后续结构改进、性能优化奠定了理论基础。
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关键词
加速度计
敏感元件
“三明治”结构
差分检测
有限元分析
灵敏度
支撑梁厚度
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Keywords
accelerometer
sensitive element
″sandwich″structure
differential detection
finite element analysis
sensitivity
support beam thickness
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分类号
TN379-34
[电子电信—物理电子学]
TN212
[电子电信—物理电子学]
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题名基于人工智能的婴儿睡眠监控系统
被引量:2
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作者
陈馨瑶
程进
邹小平
姜超
邬润杰
廖晶晶
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机构
北京信息科技大学北京市传感器重点实验室
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出处
《传感器世界》
2022年第1期10-13,共4页
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文摘
婴儿看护是每个家长承担的责任,但在大多数家长需要兼顾家庭和工作的今天,传统的看护方式不再满足各个家庭的需求,“三胎”政策的开放更是加剧了婴儿看护的压力。为了能减轻家长的负担以及降低看护风险,论文提出了一种婴儿睡眠监控系统来辅助传统看护。该系统的核心为微型电脑(树莓派),在其控制摄像头对婴儿睡眠情况进行实时监控的同时,通过调用OpenCV等库实现了对监控视频流图像的识别,在识别到婴儿有吐奶、睡觉张嘴、口鼻被遮挡等异常状态时,会通过微信小程序发送消息与婴儿图片提醒家长。该系统能及时针对不同的异常情况发出不同的提醒,并且程序移植到了嵌入式平台,体积小巧,操作简便。
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关键词
婴儿看护
微型电脑
图像识别
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Keywords
babysitting
microcomputers
image recognition
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分类号
TP277
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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