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同步辐射X射线光斑信息对扫描相干衍射成像的影响 被引量:2
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作者 刘海岗 许子健 +3 位作者 王春鹏 郭智 张祥志 邰仁忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2013年第6期51-58,共8页
本文采用拓展重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了X射线光斑尺寸、扫描点数及波前形貌对扫描相干衍射成像重建图像质量的影响。结果表明,在实际入射光斑尺寸不易确定时,算法中初始猜测光斑尺寸可以由模拟入射光斑最大光强值的1%对应... 本文采用拓展重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了X射线光斑尺寸、扫描点数及波前形貌对扫描相干衍射成像重建图像质量的影响。结果表明,在实际入射光斑尺寸不易确定时,算法中初始猜测光斑尺寸可以由模拟入射光斑最大光强值的1%对应边界确定。对物体进行扫描时,入射光斑个数大于7×7且重叠度优于70%可以重建出较好的图像。入射光斑的振幅和位相分布对重建图像质量也有着显著影响。 展开更多
关键词 扫描相干衍射成像 位相恢复算法 分辨率 同步辐射X射线
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变包含角平面光栅单色器光斑横移分析 被引量:1
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作者 吴坤 薛松 +3 位作者 卢启鹏 彭忠琦 陈家华 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期321-325,共5页
介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要... 介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要求完成单色器结构设计、加工、组装,对单色器出射光斑横向角漂移重复精度进行了测试,结果为0.7″。 展开更多
关键词 变包含角平面光栅单色器 光斑漂移 ANSYS 数值模拟
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光子相关谱法测量BaTiO3中极化团簇的弛豫时间 被引量:1
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作者 严睿 郭智 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期439-442,共4页
建立了测量晶体内部时间结构的双偏振滤波式光子相关谱实验装置。并用此装置对铁电单晶BaTiO3中极化团簇的动力学行为实施了直接观测。结果表明,该方法可对BaTiO3中,空间周期为200 nm的极化团簇进行有效探测,其弛豫时间在微秒量级,并且... 建立了测量晶体内部时间结构的双偏振滤波式光子相关谱实验装置。并用此装置对铁电单晶BaTiO3中极化团簇的动力学行为实施了直接观测。结果表明,该方法可对BaTiO3中,空间周期为200 nm的极化团簇进行有效探测,其弛豫时间在微秒量级,并且随着温度的升高,弛豫时间逐渐减小,但在居里点处出现突变。 展开更多
关键词 铁电体 BATIO3 光子相关谱 极化团簇 弛豫时间
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一种新型的压电诱导声光调制器
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作者 吕福云 邰仁忠 +1 位作者 袁树忠 关信安 《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期43-43,共1页
我们利用掺镁LiNbO<sub>3</sub>晶体研制出一种新型的压电诱导驻波型声光调制器。与常规声光调制器相比,它工艺简单,集换能器和声光互作用介质为一体,即声光互作用介质本身就是压电换能器,衍射效率极高,在80mW的射频驱动功... 我们利用掺镁LiNbO<sub>3</sub>晶体研制出一种新型的压电诱导驻波型声光调制器。与常规声光调制器相比,它工艺简单,集换能器和声光互作用介质为一体,即声光互作用介质本身就是压电换能器,衍射效率极高,在80mW的射频驱动功率下,即可对He—Ne6328A谱线实现100%光强调制,当驱动功率约1W时,可以观测到±11级衍射光斑。 很久以来,人们就注意到了宽带电光调制器中压电声波的干扰作用。 展开更多
关键词 声光调制器 声光互作用 压电谐振 调制深度 衍射效率 换能器 驱动功率 电光调制器 电声转换 现代光学
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0.72Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.28PbTiO_3弛豫铁电体中纳米极化区域温度特征实验研究
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作者 郭智 严睿 +1 位作者 张祥志 邰仁忠 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期801-804,共4页
利用同步辐射X射线小角散射实验方法,研究了0.72Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.28PbTiO3弛豫铁电体中纳米极化区域(PNRs)在自发状态下随温度变化的响应特性。得到在自发状态下,PNRs从Tm(介电系数最大值所在温度)到Tm以上100K有沿轴向的稳定关联结... 利用同步辐射X射线小角散射实验方法,研究了0.72Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.28PbTiO3弛豫铁电体中纳米极化区域(PNRs)在自发状态下随温度变化的响应特性。得到在自发状态下,PNRs从Tm(介电系数最大值所在温度)到Tm以上100K有沿轴向的稳定关联结构,该关联结构在Tm以上300K完全消失。结合以前的实验结果,得到PNRs在Tm附近约±20K的温度区间内存在的沿对角方向的周期性关联结构是材料高性能的来源之一。 展开更多
关键词 同步辐射 小角散射 弛豫铁电体 纳米极化区域
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一种新型的PESO驻波声光调制器
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作者 吕福云 邰仁忠 +1 位作者 袁树忠 关信安 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1991年第4期1-4,共4页
本文利用掺镁LiNbO_3晶体研制了一种新型的压电诱导PESO驻波型声光调制器。在80mW的射频驱动功率下即可对He-Ne632.8nm谱线实现100%光强调制,当驱动功率约1W时,可以观测到±11级衍射光斑。我们从能量的观点对其进行了理论分析,得... 本文利用掺镁LiNbO_3晶体研制了一种新型的压电诱导PESO驻波型声光调制器。在80mW的射频驱动功率下即可对He-Ne632.8nm谱线实现100%光强调制,当驱动功率约1W时,可以观测到±11级衍射光斑。我们从能量的观点对其进行了理论分析,得出的结论与实验结果相符合。 展开更多
关键词 声光调制器 PESO 调制
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基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 被引量:2
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作者 朱伟忠 吴衍青 +3 位作者 史沛熊 郭智 邰仁忠 徐洪杰 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期415-419,共5页
基于严格的矢量耦合波方法,对13.4nm(92.5eV)软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算,结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高,同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高... 基于严格的矢量耦合波方法,对13.4nm(92.5eV)软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算,结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高,同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高。本文提出用高级硅刻蚀工艺和硅氧化工艺制作深高宽比纳米级SiO2光栅的新方法,可以解决直接刻蚀制作此光栅难度大的问题,适用于制作上海光源(SSRF)软X射线干涉光刻分束光栅。 展开更多
关键词 软X射线透射光栅 衍射效率 高级硅刻蚀 硅氧化工艺 严格耦合波方法 软X射线干涉光刻
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铁电体中极化长程涨落的光子关联谱实验研究 被引量:2
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作者 张明俊 郭智 +2 位作者 邰仁忠 张祥志 罗豪甦 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第14期312-319,共8页
从极化团簇的随机涨落出发,利用维纳过程模型,推导了铁电体中极化长程涨落的弛豫规律以及光强自相关函数所可能的表现形式.阐述了微观极化团簇的弛豫过程与宏观测量弛豫规律之间的联系.通过对原有氦氖激光光子关联谱实验装置进行改进,... 从极化团簇的随机涨落出发,利用维纳过程模型,推导了铁电体中极化长程涨落的弛豫规律以及光强自相关函数所可能的表现形式.阐述了微观极化团簇的弛豫过程与宏观测量弛豫规律之间的联系.通过对原有氦氖激光光子关联谱实验装置进行改进,观测了BaTiO3和0.71Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.29Pb Ti O3单晶中极化团簇长程涨落在居里点和立方到四方相变点附近的弛豫过程.在BaTiO3中发现极化团簇长程涨落在居里点之上4 K存在双弛豫现象,此现象与其有序无序相变机理相联系.在Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.29PbTiO3中发现极化团簇长程涨落在相变点两侧都存在双弛豫现象.利用推导的理论结果很好地拟合了实验结果并提取了极化团簇长程涨落的弛豫时间.两种样品中极化团簇长程涨落的弛豫时间都在相变点出现突变,并呈现临界慢化现象. 展开更多
关键词 极化团簇 光子关联谱 长程涨落
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CT断层图像重建的新滤波函数 被引量:2
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作者 黄亚 张祥志 +2 位作者 祝江威 刘海岗 邰仁忠 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1388-1393,共6页
在X射线断层成像(XCT)技术中,卷积反投影(CBP)是CT断层图像重建中一种很重要的方法,滤波是卷积反投影方法的重要环节,而重建图像的质量和滤波函数的好坏直接相关。为了提高重建图像的质量,首次提出先加权平均后线性混合的方法,基于卷积... 在X射线断层成像(XCT)技术中,卷积反投影(CBP)是CT断层图像重建中一种很重要的方法,滤波是卷积反投影方法的重要环节,而重建图像的质量和滤波函数的好坏直接相关。为了提高重建图像的质量,首次提出先加权平均后线性混合的方法,基于卷积反投影重建算法理论,设计一种新滤波函数。通过仿真实验计算和分析,给投影数据加入不同强度系数的高斯随机噪声,并分别用新滤波函数和传统滤波函数进行重建,发现新滤波函数对所重建图像的质量较传统滤波函数有明显的改善。 展开更多
关键词 滤波函数 CT图像重建 卷积反投影 噪声
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钛酸钡中极化团簇的特征弛豫时间随温度的变化规律 被引量:1
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作者 宋春立 严睿 +1 位作者 郭智 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期258-261,共4页
BaTiO3中存在极化团簇已经被大量实验所证明,并且极化团簇的空间、时间信息以及随温度的演化信息对介电性质有着重要影响。因此探测BaTiO3中极化团簇的相关信息对于理解其功能和揭示相变机理具有重要意义。本实验利用光子相关谱方法,在... BaTiO3中存在极化团簇已经被大量实验所证明,并且极化团簇的空间、时间信息以及随温度的演化信息对介电性质有着重要影响。因此探测BaTiO3中极化团簇的相关信息对于理解其功能和揭示相变机理具有重要意义。本实验利用光子相关谱方法,在精确温控的条件下,观测到BaTiO3中300nm周期长程极化团簇微秒量级的特征弛豫时间τc,并揭示了该时间在TC附近4K温度范围内变化的细节特征。实验表明光子关联谱是研究铁电动力学的有效方法。 展开更多
关键词 铁电体 光子相关谱 极化团簇 弛豫时间
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Latest advances in soft X-ray spectromicroscopy at SSRF 被引量:4
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作者 张立娟 许子健 +10 位作者 张祥志 于怀娜 邹鹰 郭智 甄香君 曹杰峰 孟祥雨 李俊琴 陈振华 王勇 邰仁忠 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2015年第4期1-11,共11页
The BL08U1 A beamline is established as a sophisticated platform at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF), taking advantage of its high spatial resolution(< 30 nm) and high energy resolving power(>10 000... The BL08U1 A beamline is established as a sophisticated platform at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF), taking advantage of its high spatial resolution(< 30 nm) and high energy resolving power(>10 000),for studying properties of solid, liquid, gas, film and other forms of materials at sub-micron scale. In this paper,we present a review on newly implemented techniques, such as total electron yield(TEY), dual energy contrast imaging, nano-CT, soft X-ray excited optical luminance(SXEOL), and coherent diffraction imaging(CDI)under development. Several research cases in nanomaterials, environmental science and biology are presented to demonstrate capabilities of the beamline. 展开更多
关键词 软X射线 上海同步辐射装置 测试 谱学 高能量分辨率 高空间分辨率 纳米材料 衍射成像
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Nanofabrication of 50 nm zone plates through e-beam lithography with local proximity effect correction for x-ray imaging 被引量:3
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作者 朱静远 张思超 +8 位作者 谢珊珊 徐晨 张丽娟 陶旭磊 任玉琦 王玉丹 邓彪 邰仁忠 陈宜方 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第4期456-461,共6页
High resolution Fresnel zone plates for nanoscale three-dimensional imaging of materials by both soft and hard x-rays are increasingly needed by the broad applications in nanoscience and nanotechnology.When the outmos... High resolution Fresnel zone plates for nanoscale three-dimensional imaging of materials by both soft and hard x-rays are increasingly needed by the broad applications in nanoscience and nanotechnology.When the outmost zone-width is shrinking down to 50 nm or even below,patterning the zone plates with high aspect ratio by electron beam lithography still remains a challenge because of the proximity effect.The uneven charge distribution in the exposed resist is still frequently observed even after standard proximity effect correction(PEC),because of the large variety in the line width.This work develops a new strategy,nicknamed as local proximity effect correction(LPEC),efficiently modifying the deposited energy over the whole zone plate on the top of proximity effect correction.By this way,50 nm zone plates with the aspect ratio from 4:1 up to 15:1 and the duty cycle close to 0.5 have been fabricated.Their imaging capability in soft(1.3 keV)and hard(9 keV)x-ray,respectively,has been demonstrated in Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF)with the resolution of 50 nm.The local proximity effect correction developed in this work should also be generally significant for the generation of zone plates with high resolutions beyond 50 nm. 展开更多
关键词 FRESNEL zone PLATES electron beam LITHOGRAPHY LOCAL PROXIMITY effect correction x-ray imaging 50 NM resolution
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Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography 被引量:3
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作者 杨树敏 王连升 +5 位作者 赵俊 薛超凡 刘海岗 许子建 吴衍青 邰仁忠 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2015年第1期1-7,共7页
The soft X-ray interference lithography(XIL) branch beamline at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF) is briefly introduced in this article. It is designed for obtaining 1D(line/space) and 2D(dot/hole)periodic... The soft X-ray interference lithography(XIL) branch beamline at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF) is briefly introduced in this article. It is designed for obtaining 1D(line/space) and 2D(dot/hole)periodic nanostructures by using two or more coherent extreme ultraviolet(EUV) beams from an undulator source. A transmission-diffraction-grating type of interferometer is used at the end station. Initial results reveal high performance of the beamline, with 50 nm half-pitch 1D and 2D patterns from a single exposure area of400 μm× 400 μm. XIL is used in a growing number of areas, such as EUV resist test, surface enhanced Raman scattering(SERS) and color filter plasmonic devices. By using highly coherent EUV beam, broadband coherent diffractive imaging can be performed on the XIL beamline. Well reconstructed pinhole of φ20 μm has been realized. 展开更多
关键词 上海同步辐射装置 干涉光刻 软X射线 表面增强拉曼散射 光源 纳米结构 光束线 SSRF
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Coexistence of Polaronic States and Superconductivity in Iron-Pnictide Compound Ba_2Ti_2Fe_2As_4O
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作者 荣丽媛 施训 +9 位作者 芮夏岩 孙云蕾 曹光旱 张祥志 马均章 史明 黄耀波 钱天 丁洪 邰仁忠 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第5期119-122,共4页
The electronic structure of iron-pnictide compound superconductor Ba_2Ti_2Fe_2As_4O, which has metallic intermediate Ti_2O layers, is studied using angle-resolved photoemission spectroscopy. The Ti-related bands show ... The electronic structure of iron-pnictide compound superconductor Ba_2Ti_2Fe_2As_4O, which has metallic intermediate Ti_2O layers, is studied using angle-resolved photoemission spectroscopy. The Ti-related bands show a‘peak-dip-hump' line shape with two branches of dispersion associated with the polaronic states at temperatures below around 120 K. This change in the spectra occurs along with the resistivity anomaly that was not clearly understood in a previous study. Moreover, an energy gap induced by the superconducting proximity effect opens in the polaronic bands at temperatures below T_c(~21 K). Our study provides the spectroscopic evidence that superconductivity coexists with polarons in the same bands near the Fermi level, which provides a suitable platform to study interactions between charge, lattice and spin freedoms in a correlated system. 展开更多
关键词 Ti As Coexistence of Polaronic States and Superconductivity in Iron-Pnictide Compound Ba2Ti2Fe2As4O Fe BA
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上海光源极紫外光刻胶检测平台
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作者 赵俊 杨树敏 +3 位作者 薛超凡 吴衍青 陈宜方 邰仁忠 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1168-1174,共7页
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术,被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。极紫外光刻胶是极紫外光刻技术的核心子技术之一,其分辨率、粗糙度、灵敏度以及放气情况等指标的检测是开展极紫外光刻胶研发的必要条件和实现极紫外光刻胶配方优化... 极紫外光刻技术作为下一代光刻技术,被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。极紫外光刻胶是极紫外光刻技术的核心子技术之一,其分辨率、粗糙度、灵敏度以及放气情况等指标的检测是开展极紫外光刻胶研发的必要条件和实现极紫外光刻胶配方优化的重要环节。基于同步辐射的极紫外干涉光刻技术是目前最适合开展的一种用于极紫外光刻胶性能检测的方法。上海光源根据相关的研发需求,已建立了一个基于该方法的极紫外光刻胶检测平台。通过不断改善装置的稳定性,发展自主的分束光栅掩膜制作技术,以及不断摸索和优化相应的干涉曝光工艺,目前检测平台的曝光分辨率测试水平已能达到20 nm以下,基本满足极紫外光刻7 nm工艺节点的相应要求。 展开更多
关键词 极紫外 光刻胶检测 干涉光刻
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便携式同步辐射原位激光加热装置研制 被引量:1
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作者 李海涛 赵波 +10 位作者 张祥志 郭智 王勇 朱大明 姚泽颖 崔晨辉 焦禹晨 刘海岗 许子健 马立梅 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期17-24,共8页
同步辐射实验方法在研究材料的结构和物性上具有独特的优势,然而,要实现同步辐射原位高温条件,尤其温度高于2000 K以上,对很多实验方法来说还是一个挑战。激光加热方法可以实现快速、微区的极端高温条件,已经成为高温物性研究的重要工... 同步辐射实验方法在研究材料的结构和物性上具有独特的优势,然而,要实现同步辐射原位高温条件,尤其温度高于2000 K以上,对很多实验方法来说还是一个挑战。激光加热方法可以实现快速、微区的极端高温条件,已经成为高温物性研究的重要工具。上海同步辐射光源在极端高温研究领域,例如高熵合金、涡轮叶片、航空材料等还欠缺相关的原位高温条件,因此,研制了一种便携式连续激光加热装置,利用光谱仪获得样品的热辐射谱,并通过黑体辐射方法拟合出样品的温度梯度和温度稳定性。利用该装置成功实现真空环境中钨片的快速熔化(熔点约3695 K),并在上海同步辐射光源表面衍射线站获得了1608 K原位条件下的MoS2和CTAB-MoS2材料X射线衍射图谱。本工作所研制的激光加热方法拓展了上海光源在极端条件下的实验能力,为极端高温条件下的材料物性研究提供了重要手段。 展开更多
关键词 激光加热 同步辐射 原位实验 X射线衍射
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压电诱导型声光调制器中的电光效应
17
作者 邰仁忠 吕福云 +2 位作者 袁树忠 关信安 李兵 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第6期1012-1018,共7页
本文通过解压电效应的基本方程,应用一维近似理论,结合边界条件,得出压电共振晶体中电场是不均匀的,它将导致“电光栅”的产生。“电光栅”与“声光栅”可以相互耦合,产生“高次光栅”。压电诱导声光(PESD)调制器中的一次电光效应更有... 本文通过解压电效应的基本方程,应用一维近似理论,结合边界条件,得出压电共振晶体中电场是不均匀的,它将导致“电光栅”的产生。“电光栅”与“声光栅”可以相互耦合,产生“高次光栅”。压电诱导声光(PESD)调制器中的一次电光效应更有助于对入射光束的衍射和调制。实验结果证实本文结论。 展开更多
关键词 声光调制器 电光效应 压电诱导型
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基于软X射线谱学显微双能衬度图像的元素空间分布研究 被引量:9
18
作者 张祥志 许子健 +6 位作者 甄香君 王勇 郭智 严睿 常睿 周冉冉 邰仁忠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期4535-4541,共7页
上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)可实现30nm空间分辨的元素探测功能.实验中,对样品内要标识元素的吸收边附近两个能量(E1和E2,且E1>E2)分别进行扫描成像,然后将这两幅吸收图上对应像素点的光密度相比,得到的相比双能衬度图像... 上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)可实现30nm空间分辨的元素探测功能.实验中,对样品内要标识元素的吸收边附近两个能量(E1和E2,且E1>E2)分别进行扫描成像,然后将这两幅吸收图上对应像素点的光密度相比,得到的相比双能衬度图像可有效地显示该元素的空间分布信息.相对于另一种常用的相减双能衬度图像分析法,这种方法对元素空间分布的显示更为灵敏、精确,判断空间点是否含有要标识元素的阈值的定义更为简单,物理意义更为清晰.通过对聚丙烯腈预氧化纤维截面氧元素分布的测量结果的分析计算,比较了这两种分析方法的差异,验证了相比双能衬度法的有效性.该方法为快速标识样品中的微量元素提供了一种很好的新型分析手段. 展开更多
关键词 扫描透射软X射线显微 相比双能衬度图像 同步辐射 微量元素空间分布
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软X射线荧光吸收谱测试方法的建立与应用 被引量:7
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作者 陈振华 李俊琴 +4 位作者 赵子龙 桑卓成 邹鹰 王勇 邰仁忠 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期395-402,共8页
提出了一种软X射线荧光吸收谱测试方法。该方法克服了软X射线荧光产率低的问题,消除了荧光自吸收效应,采用部分荧光产额模式获得了材料的软X射线近边吸收结构。使用部分荧光产额模式对钙钛矿太阳能电池的埋藏元素、催化剂的低浓度元素,... 提出了一种软X射线荧光吸收谱测试方法。该方法克服了软X射线荧光产率低的问题,消除了荧光自吸收效应,采用部分荧光产额模式获得了材料的软X射线近边吸收结构。使用部分荧光产额模式对钙钛矿太阳能电池的埋藏元素、催化剂的低浓度元素,以及宽禁带半导体进行软X射线近边吸收谱研究。相比全电子产额模式,基于荧光产额模式的软X射线近边吸收结构在材料体相特性、不良导体和低浓度样品测试中更具优势。 展开更多
关键词 X射线光学 荧光光谱 同步辐射 近边吸收结构 软X射线 硅漂移探测器
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同步辐射光束线中部分相干光的传播研究 被引量:8
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作者 孟祥雨 郭春磊 +2 位作者 王勇 吴衍青 邰仁忠 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期311-318,共8页
基于统计光学理论,建立了适用于同步辐射软X射线的部分相干光的传播模型。利用互强度描述部分相干光,并采取分割波前叠加的方法,引入合理的近似,可以定量分析部分相干光传播一定距离后相干性能的变化。利用该模型分析了传播距离、光源... 基于统计光学理论,建立了适用于同步辐射软X射线的部分相干光的传播模型。利用互强度描述部分相干光,并采取分割波前叠加的方法,引入合理的近似,可以定量分析部分相干光传播一定距离后相干性能的变化。利用该模型分析了传播距离、光源相干长度、光源尺寸等因素对相干性能的影响。另外在上海光源软X射线干涉光刻分支线站BL08U1B进行了相干衍射实验,并利用该模型对实验结果进行了模拟。模拟结果表明,该模型能够准确地模拟BL08U1B的相干衍射图样,计算结果和实验数据符合较好,为设计同步辐射高相干性光束线站提供了理论依据和参考。 展开更多
关键词 X射线光学 部分相干光 互强度 相干长度
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