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垂直式重力储能系统的研究进展和关键技术 被引量:4
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作者 邱清泉 罗晓悦 +5 位作者 林玉鑫 王青山 李妍 聂子攀 张京业 肖立业 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期934-945,共12页
基于固体重物的重力储能技术因其不依赖水资源、选址灵活、效率高等优势,未来有望成为我国北方和西北缺水地区重要的储能技术之一,可以很好地满足大规模可再生能源电力并网对储能技术的需求。然而,由于固体重物的不可流动性和不连续性,... 基于固体重物的重力储能技术因其不依赖水资源、选址灵活、效率高等优势,未来有望成为我国北方和西北缺水地区重要的储能技术之一,可以很好地满足大规模可再生能源电力并网对储能技术的需求。然而,由于固体重物的不可流动性和不连续性,重物启停和切换过程会对机械传动和电网系统造成冲击,是固体重力储能区别于抽水蓄能的重要特征。本文首先介绍了近年来国内外基于竖井和地面构筑物的垂直式重力储能技术的研发现状和示范工程,并进一步对垂直式重力储能系统垂直提升、水平转移和自动接驳机械传动技术,以及发电电动机和并网控制技术中存在的核心技术难题进行了分析,最后对垂直式重力储能技术未来的发展趋势进行了展望。研究表明,垂直式重力储能系统尽管技术方案较多,但在重载快速提升和转移、重物启停和切换过程控制、并网控制和能效提升等方面还存在诸多技术难题有待解决,后续通过技术提升可进一步降低系统建造成本并提高系统运行的效率和寿命,有望在近期获得一定的示范应用。 展开更多
关键词 重力储能 垂直提升 机械传动 发电电动机 并网控制
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基于斜坡和山体的重力储能技术研究进展 被引量:5
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作者 张京业 林玉鑫 +1 位作者 邱清泉 肖立业 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期924-933,共10页
大力发展可再生能源并实现清洁能源变革,是实现碳达峰碳中和的重要途径,电网对各种储能技术的需求日益增长,而规模化储能技术是有效解决可再生能源并网问题的重要技术途径。抽水储能是标杆性的物理储能技术,技术成熟、应用广泛且装机容... 大力发展可再生能源并实现清洁能源变革,是实现碳达峰碳中和的重要途径,电网对各种储能技术的需求日益增长,而规模化储能技术是有效解决可再生能源并网问题的重要技术途径。抽水储能是标杆性的物理储能技术,技术成熟、应用广泛且装机容量最大,是规模化物理(重力)储能技术的典范;重力储能是最近引发广泛关注的新型物理储能技术,按照应用场景的不同分为多种技术类型。本文首先介绍了依托山体、倾斜矿井的斜坡重力储能的原理和结构,并根据应用场景和技术特点进行了分类阐述,包括依托山体斜坡的抽水储能、轨道式重力储能和缆索式重力储能等技术类型;然后回顾了不同类别依托斜坡重力储能技术的研究进展和应用情况,并阐述了每种技术类型的优势和不足;据此提出一种更为优化的斜坡重力储能技术——斜坡缆-轨式重力储能技术,不仅融合了斜坡轨道式重力储能与斜坡悬架缆车式重力储能的优点,且避免了两者的缺点;最后概述了当前斜坡重力储能技术存在的关键问题,并就其发展与推广应用进行了展望。 展开更多
关键词 斜坡储能 重力储能 山地储能 可再生能源 电力系统
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2023年中国储能技术研究进展 被引量:3
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作者 陈海生 李泓 +40 位作者 徐玉杰 徐德厚 王亮 周学志 陈满 胡东旭 阎景旺 李先锋 胡勇胜 安仲勋 刘语 肖立业 蒋凯 钟国彬 王青松 李臻 戴兴建 张宇鑫 俞振华 宋振 彭煜民 马一鸣 郭欢 王星 周鑫 胡傲伟 张弛 相佳媛 张浩 刘为 岳芬 张长昆 谢飞 夏恒恒 杨重阳 邱清泉 艾巍 李浩秒 刘轩 梅文昕 李煌 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1359-1397,共39页
本文对2023年度中国储能技术的研究进展进行了综述。通过对基础研究、关键技术和集成示范三方面的回顾和分析,在综合分析的基础上,总结得出了中国储能技术领域的主要进展,包括抽水蓄能、压缩空气储能、飞轮储能、铅蓄电池、锂离子电池... 本文对2023年度中国储能技术的研究进展进行了综述。通过对基础研究、关键技术和集成示范三方面的回顾和分析,在综合分析的基础上,总结得出了中国储能技术领域的主要进展,包括抽水蓄能、压缩空气储能、飞轮储能、铅蓄电池、锂离子电池、液流电池、钠离子电池、超级电容器、储能新技术、集成技术和消防安全技术等。结果表明,2023年中国储能技术在基础研究、关键技术和集成示范方面均取得了重要进展,保持了全球基础研究、技术研发和集成示范最为活跃的国家地位,中国在储能领域发表SCI论文数、申请专利数、装机规模继续保持世界第一。展望2024年,中国储能技术有望继续高速发展,同时总体上需要向高质量发展转变。 展开更多
关键词 储能 技术 进展
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地下抽水蓄能发展综述 被引量:2
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作者 聂子攀 肖立业 +1 位作者 邱清泉 张京业 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1606-1619,共14页
2060年碳中和场景下对储能需求量巨大,但是,我国常规抽水蓄能站点资源不足。针对这一问题,本文综述了美国、俄罗斯、新加坡、日本等国关于地下抽水蓄能的研究,提出基于硬岩掘进机挖掘的低成本地下抽水蓄能方案,阐述了三种不同地下抽水... 2060年碳中和场景下对储能需求量巨大,但是,我国常规抽水蓄能站点资源不足。针对这一问题,本文综述了美国、俄罗斯、新加坡、日本等国关于地下抽水蓄能的研究,提出基于硬岩掘进机挖掘的低成本地下抽水蓄能方案,阐述了三种不同地下抽水蓄能的发展现状,即人工挖掘地下空间的地下抽水蓄能,废弃矿井改造的地下抽水蓄能,以及其他地(海)下抽水蓄能。介绍了地下抽水蓄能的关键技术及其难点,包括地下工程建设与运营现状,以及高水头水泵水轮机技术的发展现状。最终,讨论了发展地下抽水蓄能的挑战,提出优先发展人工挖掘地下空间的地下抽水蓄能的建议,并对关键技术的发展方向提出建议。分析表明,地下抽水蓄能技术可行,经济可行,优势明显,建议我国加强对地下抽水蓄能技术的研发和推广应用。 展开更多
关键词 地下抽水蓄能 碳中和 新能源
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邱清泉的画作
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作者 邱清泉 《天天爱学习(六年级)》 2015年第28期38-38,共1页
有一个词叫“文如其人”,小编觉得画也能如其人。比如看到邱清泉的画,小编就会想到这一定是个喜欢古典文学又爱画画的女生。爱读书,喜画画,这可是小编做梦都想成为的女孩儿!
关键词 画作 “文如其人” 古典文学 画画
原文传递
新型电力系统惯量支撑和调频响应特性典型建模综述 被引量:5
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作者 韩如磊 樊子铭 +4 位作者 王粟 聂子攀 邱清泉 叶华 肖立业 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 2023年第11期67-83,共17页
大力发展以光伏、风电为主的新能源是实现“双碳目标”、解决我国能源战略安全问题以及推动生态文明建设的重要途径。新能源电源出力具有随机性、波动性、间歇性的特点,且大多为非同步机电源,不具备传统电源对电网的惯量支撑特性。随着... 大力发展以光伏、风电为主的新能源是实现“双碳目标”、解决我国能源战略安全问题以及推动生态文明建设的重要途径。新能源电源出力具有随机性、波动性、间歇性的特点,且大多为非同步机电源,不具备传统电源对电网的惯量支撑特性。随着新能源电源渗透率的逐渐增高,传统电源容量占比逐渐降低,电力系统所面临的频率暂态稳定性问题变得愈发严重。新型电力系统暂态频率响应特性主要由惯量支撑和调频特性决定,因此,对系统惯量支撑和调频的建模以及特性分析成为新型电力系统频率稳定性研究以及解决方案设计的关键。本文旨在综述新型电力系统惯量支撑和调频特性研究过程中所需的模型,总结仿真建模过程中的典型模型和关键参数,以期为同领域的研究者在新型电力系统惯量支撑和调频研究过程中提供有益的参考。 展开更多
关键词 惯量支撑 调频 系统频率响应模型
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交/直流电缆电场对绝缘及运行特性的影响
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作者 李天平 滕玉平 +4 位作者 牛荣泽 周微微 张志丰 邱清泉 肖立业 《电线电缆》 2023年第4期46-51,共6页
以交联聚乙烯(XLPE)绝缘电缆为例,分析了绝缘介质微观结构对载流子在不同电场下运动规律的不同影响,讨论了交/直流电缆绝缘介质中的电场分配机制,在综合考虑微观载流子与陷阱的耦合机制中,进一步讨论了影响绝缘稳定性与电缆运行稳定性... 以交联聚乙烯(XLPE)绝缘电缆为例,分析了绝缘介质微观结构对载流子在不同电场下运动规律的不同影响,讨论了交/直流电缆绝缘介质中的电场分配机制,在综合考虑微观载流子与陷阱的耦合机制中,进一步讨论了影响绝缘稳定性与电缆运行稳定性的主要因素。基于此,总结了交/直流电缆绝缘及其运行特性的主要区别,结果表明:电缆绝缘介质微观载流子在工频交流电场和稳恒电场下的不同响应,决定了交/直流电缆绝缘特性和运行特性的显著差异,空间电荷是影响直流电缆绝缘特性的主要因素,而局部放电是交流电缆绝缘老化的主要影响因素。该研究为交/直流电缆绝缘在结构设计中的不同技术考量以及电缆的运行维护等提供了理论依据。 展开更多
关键词 交/直流电场 绝缘特性 空间电荷 局部放电 电缆输电
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超导直流输电技术发展现状与趋势 被引量:11
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作者 邱清泉 张志丰 +1 位作者 张国民 肖立业 《南方电网技术》 北大核心 2015年第12期11-16,共6页
超导直流输电技术是实现大规模电力远距离输送的潜在解决方案之一,近年来得到了较快发展。介绍了超导直流输电技术的优越性,介绍了近年来国内外超导直流输电电缆直流断路器和超导直流限流器的研发现状和示范工程,分析了超导输电技术的... 超导直流输电技术是实现大规模电力远距离输送的潜在解决方案之一,近年来得到了较快发展。介绍了超导直流输电技术的优越性,介绍了近年来国内外超导直流输电电缆直流断路器和超导直流限流器的研发现状和示范工程,分析了超导输电技术的发展和趋势,并提出了相应的发展建议。 展开更多
关键词 高温超导材料 超导直流输电技术 超导直流电缆 超导直流限流器 能源管道
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高压及超高压故障电流限制技术分析 被引量:9
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作者 邱清泉 肖立业 +3 位作者 张志丰 张国民 张京业 刘清峰 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 2017年第10期46-54,共9页
220kV和500kV高压及超高压故障电流限制技术被认为是保障大电网安全稳定运行、提高供电可靠性和灵活性的有效途径。本文结合国内外高压及超高压领域的几个限流器工程示范项目,对比分析串联电抗限流技术、串联谐振限流技术、分裂电抗开... 220kV和500kV高压及超高压故障电流限制技术被认为是保障大电网安全稳定运行、提高供电可靠性和灵活性的有效途径。本文结合国内外高压及超高压领域的几个限流器工程示范项目,对比分析串联电抗限流技术、串联谐振限流技术、分裂电抗开断技术、超导限流技术以及其他混合限流技术的原理、设计和制造关键技术、可靠性和造价,并对各种限流技术的优缺点进行了评述。 展开更多
关键词 限流电抗器 串联谐振限流器 分裂电抗器 超导限流器
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振动式微型发电机的研究进展 被引量:12
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作者 邱清泉 肖立业 +1 位作者 辛守乔 黄天斌 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2010年第9期191-195,共5页
振动能量采集系统可广泛应用于为无线传感器节点和低功耗电子设备供电。振动式微型发电机是振动能量采集系统中的关键部件,可分为电磁式、压电式、静电式、磁致伸缩式和复合式等类型。综述了振动式微型发电机结构、形式、以及理论仿真... 振动能量采集系统可广泛应用于为无线传感器节点和低功耗电子设备供电。振动式微型发电机是振动能量采集系统中的关键部件,可分为电磁式、压电式、静电式、磁致伸缩式和复合式等类型。综述了振动式微型发电机结构、形式、以及理论仿真模型的最新进展,分析了振动式微型发电机面临的困难和发展趋势。 展开更多
关键词 振动 能量采集 微型发电机
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应用于谐振型限流器的双分裂铁心电抗器研究 被引量:8
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作者 邱清泉 肖立业 +2 位作者 张志丰 巩志强 靖立伟 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期164-171,共8页
为了降低串联谐振型限流器中流过晶闸管短路电流的幅值和上升率,提高电容器旁路电路的可靠性,提出一种双柱双分裂铁心电抗器,将晶闸管串接在双分裂电抗器的一个支路,然后再与补偿电容器并联。系统正常运行时,双分裂电抗器表现为大电感,... 为了降低串联谐振型限流器中流过晶闸管短路电流的幅值和上升率,提高电容器旁路电路的可靠性,提出一种双柱双分裂铁心电抗器,将晶闸管串接在双分裂电抗器的一个支路,然后再与补偿电容器并联。系统正常运行时,双分裂电抗器表现为大电感,流过的电流很小;在电网线路发生短路故障时,晶闸管导通,双分裂电抗器表现为小电感,快速转移流过补偿电容器的短路电流,谐振状态破坏从而实现限流功能。设计并制作了一台应用于400 V串联谐振型限流器的双柱双分裂铁心电抗器样机,基于三维棱边有限元法对电抗器磁场分布和电感参数进行了计算。电抗器以单支路小电流模式运行时,电感为192 m H;以双支路大电流运行模式时,电感为151μH。通过短路电流冲击测试发现,双分裂电抗器可实现电流快速转移且两支路电流均匀分配,电感测试值与仿真值吻合较好。为了降低晶闸管的冲击电流,提出一种在保持单支路运行电感恒定的前提下调整双支路运行电感的方法,仿真结果证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 谐振型限流器 双分裂电抗器 限流电抗器 均流
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工作参数对平面磁控溅射系统沉积速率的影响 被引量:13
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作者 邱清泉 励庆孚 +2 位作者 苏静静 Jiao Yu Finley Jim 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期46-51,共6页
为了分析磁场、阴极电压、气压和靶基板间距等工作参数对沉积速率的影响,本文对磁控放电过程和沉积过程进行了讨论,并着重对沉积速率计算的无碰撞模型和碰撞模型进行了研究。靶功率是影响沉积速率的关键因素,通过对磁控放电特性分析发现... 为了分析磁场、阴极电压、气压和靶基板间距等工作参数对沉积速率的影响,本文对磁控放电过程和沉积过程进行了讨论,并着重对沉积速率计算的无碰撞模型和碰撞模型进行了研究。靶功率是影响沉积速率的关键因素,通过对磁控放电特性分析发现,随着磁场、电压的增大,等离子体阻抗降低,放电电流和靶功率增大,随着气压的增大,放电电流和靶功率先增大后减小;采用碰撞模型对沉积速率进行模拟发现,在靶功率恒定的情况下,沉积速率随着气压和靶基板间距的增大而减小。因此,在气压和靶基板间距保持恒定的情况下,沉积速率会随着磁场和电压的增大而增大;而在磁场、电压和靶基板间距保持恒定的情况下,沉积速率随着气压的增大,先增大后减小。上述结论对于薄膜制备效率和质量的提高具有一定的理论指导意义。 展开更多
关键词 磁控溅射 镀膜 沉积速率 仿真
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微型振动式压电发电机的设计与特性分析 被引量:4
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作者 邱清泉 肖立业 +3 位作者 辛守乔 黄天斌 朱志芹 张国民 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第7期1-7,共7页
为了设计出与应用场合相匹配的微型振动式压电发电机,采用模态分析和谐响应分析方法对压电双晶片发电机的振动特性进行了研究,并分析了压电晶片的长度、宽度、厚度、质量块质量等参数对压电发电机固有频率的影响。在此基础上,基于压电... 为了设计出与应用场合相匹配的微型振动式压电发电机,采用模态分析和谐响应分析方法对压电双晶片发电机的振动特性进行了研究,并分析了压电晶片的长度、宽度、厚度、质量块质量等参数对压电发电机固有频率的影响。在此基础上,基于压电发电机的等效电路模型对发电机的发电特性进行了研究,并分析了压电发电机的上述结构参数对输出电压和功率的影响。实验结果表明,随着压电晶片长度和质量块质量的增加,固有频率降低,但共振情况下输出功率增加;随着压电晶片宽度和厚度的增加,固有频率增加,但在共振情况下输出功率减小。 展开更多
关键词 振动能量采集 压电发电机 模态分析 谐响应分析 等效电路
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矩形平面磁控溅射装置薄膜沉积仿真 被引量:8
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作者 邱清泉 励庆孚 +2 位作者 苏静静 Jiao Yu Finely Jim 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期218-224,共7页
薄膜厚度沿矩形靶长度方向分布的均匀度是衡量矩形平面磁控溅射装置镀膜质量的重要指标。为了分析气压和靶基板间距对该指标的影响,本文采用Monte Carlo方法,在假设靶材沿跑道均匀刻蚀的前提下,对靶材原子沉积过程进行了计算机仿真。模... 薄膜厚度沿矩形靶长度方向分布的均匀度是衡量矩形平面磁控溅射装置镀膜质量的重要指标。为了分析气压和靶基板间距对该指标的影响,本文采用Monte Carlo方法,在假设靶材沿跑道均匀刻蚀的前提下,对靶材原子沉积过程进行了计算机仿真。模型假设靶材原子出射能量满足Thompson分布,出射角度以余弦定律处理;假设背景气体速度为麦克斯韦分布,并采用舍选法对各个速度分量进行了抽样;应用可变硬球模型对碰撞过程进行了处理。通过仿真发现,随着气压增大,尽管薄膜的均匀度越好,但是靶材原子到达基板的能量会降低;而靶与基板间距越大,薄膜的均匀度和靶材原子到达基板的能量都会降低。另外,通过对矩形靶端部磁场改进,可以削弱靶材的反常刻蚀现象,在提高靶材利用率的同时,可以有效提高薄膜均匀度。 展开更多
关键词 磁控溅射 刻蚀 沉积 仿真
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平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展 被引量:5
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作者 邱清泉 励庆孚 +2 位作者 苏静静 Jiao Yu Finely Jim 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期493-499,共7页
放电等离子模拟是平面直流磁控溅射装置系统仿真的一个重要的子过程。本文根据模型的种类,求解问题的维数以及自洽性对磁控放电等离子体模拟方法进行了分类,并通过介绍不同种类的仿真模型,诸如动力学模型,流体模型,粒子模型,混合模型以... 放电等离子模拟是平面直流磁控溅射装置系统仿真的一个重要的子过程。本文根据模型的种类,求解问题的维数以及自洽性对磁控放电等离子体模拟方法进行了分类,并通过介绍不同种类的仿真模型,诸如动力学模型,流体模型,粒子模型,混合模型以及简化模型,根据平面直流磁控溅射放电的特殊性,对这些模型在该装置等离子模拟中的适用性进行了分析。兼顾问题求解的速度和质量,本文认为二维自洽粒子模拟与三维非自洽粒子模拟是目前需要重点研究的两种方法。最后作者对磁控放电等离子体模拟的进一步发展进行了展望。 展开更多
关键词 直流 磁控溅射 放电 等离子体 模拟 磁场
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矩形平面直流磁控溅射装置端部磁场分析 被引量:6
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作者 邱清泉 励庆孚 +3 位作者 YU Jiao FINELY Jim 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第z1期119-124,共6页
矩形平面直流磁控溅射装置在运行过程中,由于端部区域磁场弱于直道区域磁场,在靶表面对角线位置上容易出现反常刻蚀.通过对这种现象进行分析,该文对反常刻蚀的发生机理提出了新的观点,认为反常刻蚀的发生是由于电子由弱磁场区域向强磁... 矩形平面直流磁控溅射装置在运行过程中,由于端部区域磁场弱于直道区域磁场,在靶表面对角线位置上容易出现反常刻蚀.通过对这种现象进行分析,该文对反常刻蚀的发生机理提出了新的观点,认为反常刻蚀的发生是由于电子由弱磁场区域向强磁场区域漂移的过程中,电子距靶表面的距离不能够随磁场变化而迅速改变,存在较长的过渡状态.进一步发现在磁体弯道区域沿圆周方向磁场分量的存在是导致弯道区域刻蚀跑道压缩以及跑道内侧刻蚀较快的重要因素.该文研究了不同的磁体初始设计结构对磁场的影响,通过对现有磁体磁场的三维计算分析,提出了磁场的改进原则,并对具体的磁场改进措施进行了研究.通过对现有不同磁场校正方法的比较,提出了一种应用铁块和永磁块对装置端部区域磁场进行校正的新方法.通过对改进后装置的磁场分布进行计算,该文提出的改进措施可以把沿跑道磁场的均匀度控制在5%左右,并且可以削弱沿圆周方向的磁场分量. 展开更多
关键词 磁控溅射 等离子体 永磁 磁场 设计 改进
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箔式绕组变压器优化设计 被引量:2
17
作者 邱清泉 李涛 +1 位作者 孙萍 励庆孚 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1111-1115,共5页
提出了箔式绕组变压器的一种优化设计方法.该方法考虑到箔式绕组电流引线的存在,为了满足铁心与引线之间的绝缘距离,铁心截面在优化设计时采用了不对称结构,与对称铁心截面结构相比,可以很大程度地提高铁心截面积.将一种改进遗传算法应... 提出了箔式绕组变压器的一种优化设计方法.该方法考虑到箔式绕组电流引线的存在,为了满足铁心与引线之间的绝缘距离,铁心截面在优化设计时采用了不对称结构,与对称铁心截面结构相比,可以很大程度地提高铁心截面积.将一种改进遗传算法应用到铁心截面和整台变压器的优化设计中,基于优化后的不对称铁心截面对两台箔式绕组变压器进行了优化设计,在满足要求的情况下,成本分别降低8.63%和6.82%. 展开更多
关键词 变压器 箔式绕组 铁心 优化设计 遗传算法
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基于改进遗传算法的变压器铁心截面优化设计的研究 被引量:8
18
作者 邱清泉 励庆孚 李涛 《变压器》 北大核心 2004年第9期33-35,共3页
用一种改进遗传算法对变压器铁心截面进行了优化设计。优化结果表明,该算法是有效的。
关键词 变压器 铁心 优化设计 遗传算法
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电力变压器优化设计系统构建 被引量:5
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作者 邱清泉 励庆孚 +1 位作者 钱虹凌 李涛 《电气应用》 北大核心 2006年第4期39-42,共4页
基于综合设计、类比设计、优化设计三种设计方式构建了电力变压器优化设计系统。分析了三种设计方式的特点和相互间的联系,并以工程数据库系统为支撑,实现了各设计模块之间的数据传递。将专家系统混合推理机制融合到综合设计模块中,并... 基于综合设计、类比设计、优化设计三种设计方式构建了电力变压器优化设计系统。分析了三种设计方式的特点和相互间的联系,并以工程数据库系统为支撑,实现了各设计模块之间的数据传递。将专家系统混合推理机制融合到综合设计模块中,并采用改进遗传算法实现了优化设计模块。三种设计方式配合使用,可以灵活、可靠地获得优化设计方案。并基于本文构建的软件系统对一台110kV三绕组电力变压器进行了类比设计、综合设计和优化设计,结果表明了该软件系统的有效性。 展开更多
关键词 电力变压器 优化设计 CAD 遗传算法 专家系统 数据库
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工作参数对平面直流磁控溅射放电特性的影响 被引量:2
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作者 邱清泉 励庆孚 +2 位作者 苏静静 JLAO Yu Finley Jim 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期182-188,共7页
基于OOPIC软件,对平面直流磁控溅射放电等离子体进行了二维自洽粒子模拟,重点研究了磁场、阴极电势和气压等工作参数对磁控放电特性的影响。模拟发现,在一定的工作参数范围内,随着磁场的增强,鞘层厚度变窄,鞘层电势降减小,阴极离子密度... 基于OOPIC软件,对平面直流磁控溅射放电等离子体进行了二维自洽粒子模拟,重点研究了磁场、阴极电势和气压等工作参数对磁控放电特性的影响。模拟发现,在一定的工作参数范围内,随着磁场的增强,鞘层厚度变窄,鞘层电势降减小,阴极离子密度增大,但是分布变窄;随着阴极电势的增加,鞘层厚度稍微变窄,鞘层电势降增大,阴极离子密度增大,分布变宽;随着气压的升高,鞘层厚度基本不变,鞘层电势降会增大,阴极离子密度先增大后减小,分布略微变宽。 展开更多
关键词 磁控溅射 放电 等离子体 粒子模拟 OOPIC
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