基于条纹反射的超精密车削反射镜的在位面形检测

针对单点金刚石车削金属反射镜的加工检测迭代周期较长的问题,引入了动态范围大、检测速度快的条纹反射法,实现了对金属反射镜的在位面形检测,提高了制造效率。对条纹反射面形检测原理进行了研究,通过光线追迹程序对口径为100mm的反射镜面进行了模拟仿真,分析了条纹反射在位面形检测系统完成微米级面形检测时的位姿标定需求;对口径为100mm的凹球面金属反射镜进行了在位检测,测量精度优于1μm。研究结果对单点金刚石车削反射镜的加工提供了参考。